Plasmabehandlung/beschichtung mit integrierter Metall-/Isolatorbeschichtung

点击翻译按钮获取中文摘要

Am Lehrstuhl für Prozesstechnologie des IMTEK Freiburg werden insbesondere Fertigungsverfahren untersucht, welche zur Herstellung von mikro- und nanostrukturierten Komponenten und Systemen eingesetzt werden können. Die Lithographie, Galvanik, Ultra-Präzisions-Bearbeitung (UPM), Elektrochemische Abtragen (ECM) und das Funkenerosive Mikrodrahtschneiden (WEDM) und die Heißprägetechnologie sind Beispiele dafür. Am FMF werden Verfahren zur Polymerherstellung und Verarbeitung erforscht und entwickelt. Einen ungleich größeren Wert haben diese Technologien, wenn sie im Zusammenhang als Prozesskette genutzt werden. Im Rahmen der Gesamtkonzeption des geplanten Folientechnikums dient die beantragte Anlage der gezielten Erstellung von großformatigen Systemen auf Folien und vergleichbaren Substraten. Mit der beantragten Anlage sollen die miniaturisierten und mikrostrukturierten Bereiche auch funktionsspezifisch weiter angepasst werden können. Dabei ist das Aufbringen von metallenen und isolierenden Schichten aus anorganischen, organischen und Multischichtmaterialien geplant. Mit der PVD Beschichtungsanlage wird die großflächige und homogene Schichtabscheidung von Metallen, wie Cr, Ti, Al, Ag, W etc., Nichtmetallen, wie Nitriden, Oxiden etc. und Polymer-Verbundwerkstoffe auf Folien und vergleichbaren Substraten, mit oder ohne Masken, möglich gemacht.