準大気圧アーク放電による材料プロセスの新展開：He誘起繊維状ナノ構造の高速形成

亚大气压电弧放电材料加工的新进展：He诱导纤维纳米结构的快速形成

• 批准号: 21K04028
• 负责人: 菊池 祐介
• 金额: $ 2.66万
• 依托单位: University of Hyogo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2021
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2021-04-01 至 2024-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-21K04028/
• 关键词: 準大気圧ヘリウムアーク放電; 繊維状ナノ構造; タングステン; プラズマ表面処理; 準大気圧アーク放電

ガス圧力5 kPa下にて生成したヘリウム（He）アーク放電をタングステン（W）試料に照射し，W表面に繊維状ナノ構造を形成する実験を引き続き実施した。W試料と真空容器間にバイアス電圧（Vb）を印加することで，W試料への入射Heイオンエネルギー（Ei）を制御した。実験ではVbを-22 Vから-242Vに変化させることで，Heイオン照射によるWのスパッタリング閾値（～150 eV）以上のEiを有するHeを試料温度約1000℃にて照射した。繊維状ナノ構造層の厚さの評価では、従来は試料断面をSEMで観察していたが，1つの試料で1か所しか測定ができなかった。そこで，ナノインデンターの圧子を押し込むことで圧痕を設け、その箇所をSEMで表面観察することでナノ構造層の厚さを測定する手法を開発した。これらの結果，Vbに対して繊維状ナノ構造層の厚さはロールオーバーする結果が得られた。また、バイアス電圧が大きくなるに従い、ナノ構造の太さが細くなる結果も得られた。これらの成果は第25回ISPC国際会議（2023年5月、京都）で発表予定である。一方，試料温度約2000℃の高温下でHeアーク照射実験をすることで，W試料表面に直径約1～2 μmのHeバブル・ホールを形成し，より高温下で高い熱放射特性を有する構造を目指した研究も行った。その結果は電気学会A部門大会で発表し，若手ポスター優秀賞を受賞した。照射実験装置の改良として，照射試料導入駆動装置を製作した。モータ駆動による試料位置の調節が可能であり，試料位置の設定精度向上やプラズマ照射中の位置駆動を可能とした。

ガスpressure 5にて generates したヘリウム (He) アーク discharge をタングステン (W) test under kPa When the material is irradiated, the W surface has a dimensional structure and the structure is formed. The voltage between the W sample and the vacuum container (Vb) is the same as that of the injector.実験ではVbを-22 Vから-242Vに変化させることで, HeイオンによるWのスパッタリング threshold value (~150 eV) The above conditions are the same as the test temperature of the sample is about 1000°C and the irradiation is done. The thickness of the dimensional structure layer, the evaluation of the thickness of the structural layer, and the sample cross-section of the SEM Observation is done, and 1 sample is measured at 1 place.そこで，ナノインデンターの姧子を気込むことで姧色をSETけ、その箇所をSEM's surface observation method is used to measure the thickness of the structural layer and the method is used to determine the thickness of the structural layer. The result of これらの, the result of Vbに対して繊dimensional ナノ structural layer の thick さはロールオーバーする results がget られた.また、バイアス电姧が大きくなるに従い、ナノstructuralの太さが小くなるRESULTSもgetられた. The results will be announced at the 25th ISPC International Conference (May 2023, Kyoto). On the one hand, the sample temperature is about 2000℃, and the diameter of the surface of the sample is about 1 to 2 μmのHe バブル・ホールをformationよりHigh-heat radiation characteristics at high temperaturesをHas a structureするstructureをObjectiveしたresearchも行った. The results of the meeting of the Department A of the Electric Power Society were announced, and the outstanding performance of Wakatoshi was rewarded. The irradiation equipment is improved and the irradiation sample is introduced into the movable device and is produced. It is possible to adjust the position of the sample by adjusting the position of the sample, and the setting accuracy of the position of the sample is improved and the position during the irradiation can be adjusted.

项目成果

Effect of Biasing Voltage on Fiber-Form Nanostructured Tungsten Formation by Collisional Helium Arc Plasma Irradiation

偏置电压对碰撞氦弧等离子体辐射形成纤维状纳米结构钨的影响

• 发表时间: 2022
• 作者: M. Tajima;Y. Kikuchi;T. Aota;S. Maenaka;K. Fujita;S. Takamura
• 通讯作者: S. Takamura

Effect of Biasing Voltage on Growth of Fiber-Form Nanostructures on Tungsten Surfaces by Collisional Helium Arc Plasma Irradiation

偏置电压对碰撞氦弧等离子体辐照钨表面纤维状纳米结构生长的影响

• 发表时间: 2023
• 作者: M. Tajima;Y. Kikuchi;T. Aota;S. Maenaka;K. Fujita;S. Takamura
• 通讯作者: S. Takamura

準大気圧ヘリウムアーク放電照射による繊維状ナノ構造タングステン形成における試料バイアス電圧効果

样品偏压对负压氦弧放电辐照形成纤维状纳米结构钨的影响

• 发表时间: 2022
• 作者: Takuya Iwami;Hiroki Kagawa;and Xiuqin Wei;多司馬 光夫，菊池 祐介，青田 達也，前中 志郎，藤田 和宣，高村 秀一
• 通讯作者: 多司馬 光夫，菊池 祐介，青田 達也，前中 志郎，藤田 和宣，高村 秀一

準大気圧Heアーク放電照射を用いた繊維状ナノ構造形成実験の進展

亚大气压氦弧放电辐照纤维纳米结构形成实验研究进展

• 发表时间: 2021
• 作者: E.Sakasegawa;R.Chishiki;R.Sedutsu;T.Soeda;H.Haga;R.M.Kennel;見市知昭;多司馬 光夫，菊池 祐介，青田 達也，前中 志郎，藤田 和宣，高村 秀一
• 通讯作者: 多司馬 光夫，菊池 祐介，青田 達也，前中 志郎，藤田 和宣，高村 秀一

準大気圧ヘリウムアークプラズマによる繊維状ナノ構造形成技術

利用低于大气压氦弧等离子体的纤维纳米结构形成技术

• 发表时间: 2021
• 作者: Hiroki Kagawa;Takuya Iwami;Yota Matui;and Xiuqin Wei;菊池祐介
• 通讯作者: 菊池祐介