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Deposition and application of ultra-thin phase transition oxide thin films by high power pulsed magnetron sputtering

Deposition and application of ultra-thin phase transition oxide thin films by high power pulsed magnetron sputtering
高功率脉冲磁控溅射超薄相变氧化物薄膜的沉积及应用
批准号:
20K14455
负责人:
Mian Md. Suruz
金额:
$2.66万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
财政年份:
2020
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2020-04-01 至 2023-03-31

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二酸化バナジウム薄膜の堆積に用いる酸化亜鉛バッファ層の低温成長
用于沉积二氧化钒薄膜的氧化锌缓冲层的低温生长
DOI: --
发表时间: 2022
期刊:
影响因子: --
作者: [Bian Ligong, Cai Rong-Gen, Cao Shuo, Cao Zhoujian, Gao He, Guo Zong-Kuan, Lee Kejia, Li Di, Liu Jing, Lu Youjun, Pi Shi, Wang Jian-Min, Wang Shao-Jiang, Wang Yan, Yang Tao, Yang Xing-Yu, Yu Shenghua, Zhang Xin, モハメッド シュルズ ミヤ,中野武雄]
通讯作者: モハメッド シュルズ ミヤ,中野武雄
DOI: --
发表时间: 2022
期刊:
影响因子: --
作者: [穂坂晃佑, モハメッド シュルズ ミヤ, 中野武雄]
通讯作者: 中野武雄
DOI: --
发表时间: 2022
期刊:
影响因子: --
作者: [モハメッド シュルズ ミヤ,穂坂晃佑, 中野武雄]
通讯作者: 中野武雄
Crystallinity Improvement of Zinc Oxide Films at Low Temperature Deposition Using Reactive HiPIMS
使用反应性 HiPIMS 低温沉积改善氧化锌薄膜的结晶度
DOI: --
发表时间: 2022
期刊:
影响因子: --
作者: [Md. Suruz Mian, Miho Hagino, Rie Kawahigashi, Takeo Nakano, Kunio Okimura]
通讯作者: Kunio Okimura
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