Lubrication film thickness sensor with sub-nanometer resolution applying MIM metamaterial structure
Lubrication film thickness sensor with sub-nanometer resolution applying MIM metamaterial structure
采用MIM超材料结构的亚纳米分辨率润滑油膜厚度传感器
批准号：
20K22477
负责人：
Okatani Taiyu
金额：
$1.83万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
财政年份：
2020
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2020-09-11 至 2022-03-31
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力覚センサの製造方法
力传感器的制造方法
力传感器的制造方法
DOI：
--
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
力覚センサ
力传感器
力传感器
DOI：
--
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
Metal-Insulator-Metalメタマテリアル構造を応用したナノギャップ計測に向けたSpin-on-Glass膜封止型ナノドットアレイの作製
使用金属-绝缘体-金属超材料结构制造用于纳米间隙测量的旋涂玻璃薄膜密封纳米点阵列
使用金属-绝缘体-金属超材料结构制造用于纳米间隙测量的旋涂玻璃薄膜密封纳米点阵列
DOI：
--
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
作者：
[岡谷 泰佑, 金森 義明]
通讯作者：
金森 義明
Metal-Insulator-Metal structured optical force sensors with thin polydimethylsiloxane
具有薄聚二甲基硅氧烷的金属-绝缘体-金属结构光学力传感器
具有薄聚二甲基硅氧烷的金属-绝缘体-金属结构光学力传感器
DOI：
--
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
作者：
[MunkhOrgil Dashdeleg, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori]
通讯作者：
Yoshiaki Kanamori
力覚センサ及び力覚センサの製造方法
力传感器及力传感器的制造方法
力传感器及力传感器的制造方法
DOI：
--
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
共 8 条