阐明驻极体劣化机理，提高振动发电元件的长期可靠性-猫眼课题宝

阐明驻极体劣化机理，提高振动发电元件的长期可靠性

批准号：

21H01271

负责人：

年吉洋

金额：

$11.48万

依托单位：

The University of Tokyo

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

财政年份：

2021

资助国家：

日本

项目状态：

已结题

起止时间：

2021-04-01 至 2024-03-31

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-21H01271/

关键词：

MEMS 振動発電エナジーハーベスタエレクトレット

项目摘要

项目成果

年吉洋的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要

翻译

点击翻译按钮获取中文摘要

英文摘要

本研究は、ＩｏＴ無線センサ等の自律電源として有力視されているＭＥＭＳ型環境振動発電素子の発電効率と素子信頼性を高めるための研究として、機械-電気エネルギ変換材料であるシリコン酸化膜由来のエレクトレット（永久電荷）膜の電荷密度が経時変化するメカニズムを実験および分子動力学的手法を用いて解析した。また、特性劣化を抑制する手段として、エレクトレット材料の表面保護膜による水分子吸着の防止や、エレクトレット膜中へのバリア層挿入によるシリコン基板側からのキャリア侵入抑制などの対策を施し、その効果を検証した。さらに、これらの知見と対策を活用して、エレクトレット電位が１０％劣化するまでの時間を１０年以上に改善した高信頼性エレクトレット振動発電素子を実証した。

期刊论文(12)

专著(0)

科研奖励(0)

会议论文

Effect of H2O and H2 gas to the Lifetime of Vacuum-annealed Potassium-doped SiO2 Electret for MEMS Vibrational Energy Harvester

H2O 和 H2 气体对 MEMS 振动能量采集器真空退火掺钾 SiO2 驻极体寿命的影响

DOI： --

发表时间： 2022

期刊：

影响因子： --

作者：

[プトラ・レファルディ, 小澤孝拓, 本間浩章, 福谷克之, 年吉　洋]

通讯作者：年吉　洋

Effect of hydrogen atoms on potassium-ion electrets used in vibration-powered generators

氢原子对振动发电机中使用的钾离子驻极体的影响

DOI： 10.1016/j.mssp.2022.107306

发表时间： 2023

期刊：

Materials Science in Semiconductor Processing

影响因子： 4.1

作者：

[Ohata Yoshiki, Araidai Masaaki, Ishiguro Takuma, Mitsuya Hiroyuki, Toshiyoshi Hiroshi, Shibata Yasushi, Hashiguchi Gen, Shiraishi Kenji]

通讯作者： Shiraishi Kenji

MACHINE LEARNING-BASED EXPERIMENT PLANNING OF POTASSIUM-ION SiO2 ELECTRET FORMING

基于机器学习的钾离子SiO2驻极体形成实验规划

DOI： --

发表时间： 2022

期刊：

影响因子： --

作者：

[Refaldi I.D. Putra, Hiroaki Honma, and Hiroshi Toshiyoshi]

通讯作者： and Hiroshi Toshiyoshi

Improvement of the reliability of potassium-ion electrets thorough an additional oxidation process

通过额外的氧化过程提高钾离子驻极体的可靠性

DOI： 10.1063/5.0129247

发表时间： 2022

期刊：

Applied Physics Letters

影响因子： 4

作者：

[Ohata Yoshiki, Nakanishi Toru, Chokawa Kenta, Araidai Masaaki, Ishiguro Takuma, Mitsuya Hiroyuki, Toshiyoshi Hiroshi, Shibata Yasushi, Hashiguchi Gen, Shiraishi Kenji]

通讯作者： Shiraishi Kenji

Effects of Gas Adsorption and Ions on the Reliability of Potassium-ion SiO2 Electret

气体吸附和离子对钾离子SiO2驻极体可靠性的影响

DOI： --

发表时间： 2022

期刊：

影响因子： --

作者：

[Refaldi Intri Dwi Putra, Takahiro Ozawa, Hiroaki Honma, Hiroshi Toshiyoshi, and Katsuyuki Fukutani,]

通讯作者： and Katsuyuki Fukutani,