ロール・ツー・ロール印刷技術による大面積MEMSに関する研究
采用卷对卷印刷技术的大面积MEMS研究
基本信息
- 批准号:10F00719
- 负责人:
- 金额:$ 1.22万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for JSPS Fellows
- 财政年份:2010
- 资助国家:日本
- 起止时间:2010 至 2011
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
近年の情報技術の発展に伴って、柔軟で、かつ、持ち運びが可能な大面積画像ディスプレイの需要が高まっている。研究代表者らはこれまでに、プラスチック・フィルムをロール・ツー・ロール印刷技術を用いてMEMS加工することで、静電駆動型のファブリ・ペロ干渉計アレイを製作し、それをもちいて白色光源から赤、青、緑の3色の光を選択的に透過するカラーピクセル型の画像ディスプレイを開発してきた。この研究では、厚さ16μm程度のPENフィルム上に、グラビア印刷やフレキソ印刷を用いてマイクロパターンを形成し、それらのインクをモールド(鋳型)としたリフトオフ型の金属パターン形成を実施した。しかしながら、従来のこの方法ではパターンの変更の度に印刷用のロール原盤を加工し直す必要があり、多品種少量型のMEMSプロセスとの整合性が悪いことが課題であった。そこで本研究では新たに工業用のインクジェットプリンタを用いてCAD上で設計した任意のマイクロパターンをプラスチック・フィルム上に印刷で形成し、それによってスループットの高い印刷MEMSプロセスを実現した。また、プラスチック・フィルム表面におけるインクの濡れ性について調べ、テフロン系の膜を選択的に薄膜堆積することでフィルム表面の親水性/疎水性の別を制御して、パターン精度と分解能を改善することができた。さらに、圧電ポリマーであるPVDFフィルムの上に金属電極パターンを形成し、外部から印加した応力によって発電するパワーMEMS素子を学内他研究室との共同研究により開発した。
In recent years, the development of information technology has been accompanied by high demand for large-area graphics, soft, flexible and continuous transportation. The research representatives are interested in the application of MEMS printing technology to the production of electrostatic dynamic type MEMS dry meter, and the development of electrostatic dynamic type image with white light source of red, green and green. This study was carried out on the formation of PEN with a thickness of about 16μm, and on the formation of PEN with a thickness of about 16 μ m. This method is based on the principle of integration of multiple types and small quantities of MEMS components. This research is a new way to design and manufacture MEMS printing for industrial applications. The film thickness of the film system is selected by adjusting the film thickness of the film surface, controlling the difference between the hydrophilicity and the water resistance of the film surface, and improving the decomposition accuracy of the film. In addition, the MEMS element is developed through joint research by other research laboratories in the United States through the formation of metal electrodes on the PVDF diaphragm and the transmission of electricity due to external forces.
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
MEMS技術の画像ディスプレィ応用~2D、3D、フレキシブル~
MEMS技术的图像显示应用——2D、3D、柔性——
- DOI:
- 发表时间:2010
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:G.Tortissier;P.Ginet;B.Kim;H.Fujita;H.Toshiyoshi;年吉洋
- 通讯作者:年吉洋
CF4 plasma treatment-assisted inkjet printing for color pixel flexible display
CF4等离子体处理辅助喷墨打印彩色像素柔性显示器
- DOI:10.1088/0960-1317/21/10/105021
- 发表时间:2011
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:G.Tortissier;P.Ginet;B.Daunay;L.Jalabert;P.Lambert;B.Kim;H.Fujita;H.Toshiyoshi
- 通讯作者:H.Toshiyoshi
Flexible display system based on MEMS Fabry-Perot interferometer
基于MEMS法布里-珀罗干涉仪的柔性显示系统
- DOI:
- 发表时间:2010
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:G.Tortissier;C.-Y.Lo;H.Fujita;H.Toshiyoshi
- 通讯作者:H.Toshiyoshi
Inkjet printed optical color filter for fiexible display applications
用于柔性显示应用的喷墨印刷光学滤色片
- DOI:
- 发表时间:2011
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Gregory Tortissier Hiroyuki Fujita;Hiroshi Toshiyoshi
- 通讯作者:Hiroshi Toshiyoshi
Enhanced CF4 plasma treated polymer film for flexible display application
用于柔性显示应用的增强型 CF4 等离子体处理聚合物薄膜
- DOI:
- 发表时间:2011
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:G.Tortissier;P.Ginet;B.Kim;H.Fujita;H.Toshiyoshi
- 通讯作者:H.Toshiyoshi
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