インチサイズダイヤモンド単結晶ウェハ上の結晶成長メカニズムの解明

阐明英寸尺寸金刚石单晶晶片的晶体生长机制

• 批准号: 21H01832
• 负责人: 山田 英明
• 金额: $ 11.4万
• 依托单位: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2021
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2021-04-01 至 2024-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-21H01832/
• 关键词: ダイヤモンド; 熱フィラメントCVD; 不純物ドープ; 熱流体シミュレーション; 導電性エピ成長; インチサイズウェハ

本研究の主眼の一つであるドーピングの制御において、基板温度は基本的且つ支配的な成膜パラメータの一つである。実際、基板温度に対するドーピング濃度依存性は、熱フィラメントＣＶＤに限らず多数報告されている。一方で、プラズマＣＶＤにおいては、紫外から赤外まで幅広い波長領域でプラズマからの発光があるため、光学的な測定手法では基板温度を測定することが容易ではない。一方で、熱フィラメントＣＶＤにおいても、フィラメントからの発光強度が支配的なため、近接して設置している基板からの発光のみを捉えることが難しく、非接触での測定が容易ではない。そこで、本年度は、熱電対を用いた基板温度測定準備を実施した。基板を模擬したＭｏ製のダミー基板とそれを支持する治具を作製し、設置による熱抵抗の変化を軽減できる状態にして、熱電対をこのダミー基板に挿入し、温度を測定した。治具とその下にある水冷ホルダーの間の熱抵抗を変化したところ、熱抵抗として挿入したＳｉ基板の枚数に応じて線形状に温度が上昇した。フィラメント温度上昇に対しても同様に正の相関を確認した。原料ガス圧力を上昇させると基板温度は低下した。気相の熱伝導による冷却効果が増したためと思われる。一方で、基板とフィラメント間の距離を１５ｍｍから１０ｍｍ程度増やしても、数１０度程度（立上げ毎の温度の変動範囲程度以下）の温度変化しかなかった。これは、基板温度を決める要因として輻射が支配的であることを示唆している。

This study の の eye a つ で あ る ド ー ピ ン グ の suppression に お い て, substrate temperature は basic and つ dominate な film-forming パ ラ メ ー タ の a つ で あ る. Be international, substrate temperature に す seaborne る ド ー ピ ン グ concentration dependence は, hot フ ィ ラ メ ン ト CVD に limit ら ず most reports さ れ て い る. Party で, プ ラ ズ マ CVD に お い て は, ultraviolet か ら red outside ま で picture hiroo い wavelength domain で プ ラ ズ マ か ら の 発 light が あ る た め, optical な determination technique で を は substrate temperature measuring す る こ と が easy で は な い. Party で, hot フ ィ ラ メ ン ト CVD に お い て も, フ ィ ラ メ ン ト か ら の 発 light intensity が な dominated た め, nearly し て set し て い る substrate か ら の 発 light の み を catch え る こ と が difficult し く, non-contact で の determination が easy で は な い. Youdaoplaceholder0 た で で, for this year, the temperature measurement of the を and thermoelectric を using the <s:1> た substrate is prepared for を implementation of た た. Substrate を simulation し た Mo system の ダ ミ ー substrate と そ れ を support す る し, set up the fixture を cropping に よ る の thermal resistance - the を 軽 minus で き る state に し て, thermoelectric を seaborne こ の ダ ミ ー substrate に scions into し, determination of temperature を し た. Under the fixture と そ の に あ る water-cooled ホ ル ダ ー の の thermal resistance between を variations change し た と こ ろ, thermal resistance と し て scions into し た Si substrate の number に 応 じ て line shape に temperature rising が し た. Youdaoplaceholder0 ト ト the temperature rise に is directly related to the <s:1> て ト に を を を confirming the た. The raw material ガス pressure を rises させると the substrate temperature <e:1> drops <s:1> た. Phase <s:1> heat 伝 conduction による cooling effect が increase たためと thought われる. Party で, substrate と フ ィ ラ メ ン ト を の distance between 15 mm か ら 10 mm level raised や し て も, degree of number 10 degrees (vertical げ their の temperature の - moving van 囲 degree below) の temperature variations change し か な か っ た. こ れ は, substrate temperature を definitely め る by と し て radiation が dominate で あ る こ と を in stopping し て い る.

项目成果

Study of horizontal and vertical uniformity of B-doped layer on mosaic single crystal diamond wafers by using hot-filament chemical vapor deposition

热丝化学气相沉积镶嵌单晶金刚石晶片B掺杂层水平和垂直均匀性研究

• 发表时间: 2022
• 期刊: Functional Diamond
• 作者: Hideaki Yamada;Takehiro Shimaoka
• 通讯作者: Takehiro Shimaoka