Development of measurement techniques for dielectric properties in the 300 GHz band using the precision probing technique

使用精密探测技术开发 300 GHz 频段介电特性测量技术

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Beyond-5G/6G技術開発を支えるミリ波帯オンウエハ計測技術
支持Beyond 5G/6G技术发展的毫米波晶圆上测量技术
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Ryosuke Morita;Fuya Horie;Satoshi Ito;坂巻亮
  • 通讯作者:
    坂巻亮
誘電体材料の評価方法、評価装置及び評価システム
介电材料的评价方法、评价装置及评价系统
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
Improvement in measurement accuracy of on-wafer measurements from millimeter-wave to Terahertz frequencies
提高从毫米波到太赫兹频率的晶圆上测量的测量精度
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Ryosuke Morita;Fuya Horie;Satoshi Ito;Ryo Sakamaki
  • 通讯作者:
    Ryo Sakamaki
Innovative on-wafer measurement solutions at THz frequency
太赫兹频率的创新晶圆上测量解决方案
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    于文斌;風間皐希;中原悠太;一條尚希;齋藤翔太;松嶋敏泰;Ryo Sakamaki
  • 通讯作者:
    Ryo Sakamaki
Long-Term Stability Test on On-Wafer Measurement System in Frequency Ranges up to 325 GHz
频率范围高达 325 GHz 的晶圆上测量系统的长期稳定性测试
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SAKAMAKI RYO其他文献

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