Long-Term Stability Test on On-Wafer Measurement System in Frequency Ranges up to 325 GHz
Long-Term Stability Test on On-Wafer Measurement System in Frequency Ranges up to 325 GHz
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频率范围高达 325 GHz 的晶圆上测量系统的长期稳定性测试
DOI：
10.1109/tim.2020.3047486
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发表时间：
2021
影响因子：
5.6
通讯作者：
Horibe Masahiro
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Sakamaki Ryo;Horibe Masahiro
本文报道了NMIJ-AIST对频率范围高达325 GHz的晶圆上测量系统进行长期稳定性测试的研究结果。射频（RF）探头在X、Y和Z方向上坐标，并且通过执行RF信号检测来自动调整倾斜角度。校准和验证过程重复了一年多。该研究的新奇在于，它优化了测试的测量程序，演示了长期稳定性测试，并将评价的长期稳定性与探针模型，吸收剂和校准方法的影响进行了比较。测量的反射系数的标准偏差在幅度上在-32至-70 dB之间，并且在相位上在0°-10°之间。测量的透射系数的标准偏差范围为-43 ~-80 dB，相位范围为0.2° ~ 2.7 °。与之前的报告相比，改进后的程序有助于提高测量重现性。此外，卡盘材料和校准方法的影响大于长期稳定性。
This article reports the investigation results of long-term stability tests on on-wafer measurement systems in frequency ranges up to 325 GHz conducted by the NMIJ-AIST. The radio frequency (RF) probe coordinates in the X-, Y-, and Z-directions, and the tilt angle is automatically adjusted by performing RF signal detection. Calibrations and verification processes were repeated for over a year. The novelty of the study is that it optimizes measurement procedures for the test, demonstrates a long-term stability test, and compares the evaluated long-term stability to the effects of probe model, absorber, and calibration method. The standard deviation of the measured reflection coefficient ranged between -32 to -70 dB in magnitude, and 0°-10° in phase. The standard deviation of the measured transmission coefficient ranged from -43 to -80 dB and from 0.2°-2.7° in phase. The refined procedures contributed to improve the measurement reproducibility compared to the previous report. Furthermore, the effects of the chuck material and the calibration method were larger than long-term stability.
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