Development of finishing methods for creation of atomically flat side-surfaces of three-dimensional nano-devices utilizing defect-site selective reactions

开发利用缺陷位点选择性反应创建三维纳米器件原子级平坦侧面的精加工方法

• 批准号: 20H02483
• 负责人: HATTORI Ken
• 金额: $ 11.73万
• 依托单位: Nara Institute of Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2020
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2020-04-01 至 2023-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20H02483/
• 关键词: 三次元立体形状試料; 表面原子平坦化; 側壁表面; ファセット表面; ウェットプロセス; 走査トンネル顕微鏡; 電子回折; 原子平坦; 三次元デバイス; 走査電子顕微鏡; 低速電子回折; 側壁面; 電子状態; 磁性

项目成果

原子平坦立体表面をもつマイクロピラミッドシリコンの創成： 立体表面構造分析と特異物性

创建具有原子级平坦 3D 表面的微金字塔硅：3D 表面结构分析和奇异物理特性

• 发表时间: 2021
• 作者: 大内 隆成;岡部 徹;柳谷理沙，鈴木由美，佐藤翔輔，田中聡，重川希志依;Xin Lu，竹田修，朱鴻民;Yoshi Fujiwara;滝本優介，Ji Ha Lee，矢吹彰広;石谷 康平,勝部 涼司，野瀬 嘉太郎;服部 賢
• 通讯作者: 服部 賢

研究室紹介

实验室介绍

Spatial Analytical Surface Structure Mapping for Three-dimensional Micro-shaped Si by Micro-beam Reflection High-energy Electron Diffraction

微束反射高能电子衍射三维微形硅空间分析表面结构测绘

• DOI: 10.1380/ejssnt.2021.13
• 发表时间: 2021
• 期刊: e-Journal of Surface Science and Nanotechnology
• 影响因子: 0.7
• 作者: Nakatsuka Sohei;Imaizumi Taishi;Abukawa Tadashi;Hattori Azusa N.;Tanaka Hidekazu;Hattori Ken
• 通讯作者: Hattori Ken

3次元立体形状Fe薄膜での特異な磁気特性

3D Fe 薄膜独特的磁性能

• 发表时间: 2021
• 作者: 服部 梓;大坂 藍;田中 秀和;Liliany N. Pamasi;細糸信好;Aydar Irmikimov;東 嵩晃;阪井 雄也;Haobang Yang;服部 賢
• 通讯作者: 服部 賢

3次元立体表面上の鉄ナノ薄膜での特異な磁気特性

3D 表面铁纳米薄膜的独特磁性

• 发表时间: 2022
• 作者: 服部 梓;L. N. Pamasi;阪井 雄也;楊 浩邦;細糸 信好;A. Irmikimov;東 嵩晃;大坂 藍;田中 秀和;服部 賢
• 通讯作者: 服部 賢