非定常環境振動から電力自給可能なマイクロエレクトロニクス

能够在不稳定环境振动下实现自给自足电力的微电子技术

• 批准号: 20J14049
• 负责人: 遠山 幸也
• 金额: $ 1.47万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for JSPS Fellows
• 财政年份: 2020
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2020-04-24 至 2022-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20J14049/
• 关键词: MEMS; 振動発電素子; エナジーハーベスタ; 振動発電; 広帯域発電素子; 整流昇圧回路

昨年度に引き続き、発電機構の構造密度を高め、電気的なダンピングを増強することによる広帯域振動発電素子のデバイス施策及び評価に取り組んだ。発電素子のデザインを見直すことで試作プロセス上のＭＥＭＳの深堀りエッチング構造のアスペクト比を変更するなど製作条件を緩和し、特性評価用のデバイスを実現した。評価用デバイスの外部振動印加時の機械特性、及び負荷接続時の電気的な周波数特性の測定を行った。その結果、出力端子につける負荷の大きさを変更することで発電量の周波数特性が変化し、30 Hz ほどの共振周波数のシフトを伴いながら帯域を変化することが確認できた。この結果は広帯域特性を持つ振動発電素子の設計のみならず、接続する後段回路によって共振周波数を大幅に変化させるシステムの可能性を示唆する結果である。また、発電に関わるエレクトレットの帯電電位を変化させることにより、最も帯域の広くなる条件間において 30 Hz 程度帯域が向上することが確認できた。こちらの結果により、これまで理論的な静電モデルと電気回路シミュレータ上の等価回路モデルを用いたシミュレーションを用いて提案していた広帯域発電素子の設計手法を実証した。また、これまで取り組んだ微小な電圧の発電量の回収を可能とする低しきい値の整流昇圧回路についての実験結果を学術論文としてまとめ、投稿・採択された。従来の共振型発電素子と整流昇圧回路を組み合わせることで微小非定常振動のもとでの昇圧性能が向上した結果、及び発電素子の帯域の向上した結果をそれぞれ投稿し、原著論文として採択されている。以上より、発電素子と後段回路それぞれで発電特性の広帯域化を実現する手法を示し、回路を含めた発電システムとして広帯域性能を実現するための方法論を提案したといえる。

In the past year, the structure density of the power generation mechanism has been increased, and the power generation mechanism has been strengthened. The power generation mechanism and evaluation of the power generation mechanism have been selected. The characteristics of MEMS are evaluated by adjusting the manufacturing conditions and changing the structure ratio of MEMS. Evaluation of the mechanical characteristics of the external vibration and the measurement of the frequency characteristics of the electrical energy under load As a result, the frequency characteristics of the output terminal and the resonance frequency of the output terminal are changed. These results demonstrate the possibility of a large change in the resonance cycle number in the back-end loop of the design of a vibration transmitter with band characteristics. The voltage of the transmission line varies from 30 Hz to 30 Hz. The voltage of the transmission line varies from 30 Hz to 30 Hz. The result of this study is that the design method of the electric field transmitter is proved. The results of the research on the low voltage rectifier and voltage booster circuit are presented in this paper. The voltage rise performance of the resonant type transmitter and rectifier voltage rise loop is improved, and the voltage rise performance of the resonant type transmitter and rectifier voltage rise loop is improved. The method of realizing the transmission characteristics of the above two components is proposed.

项目成果

Equivalent Circuit Model for MEMS Vibrational Energy Harvester Compatible with Sinusoidal and Nonsinusoidal Vibrations

与正弦和非正弦振动兼容的 MEMS 振动能量采集器的等效电路模型

• DOI: 10.18494/sam.2020.2821
• 发表时间: 2020
• 期刊: Sensors and Materials
• 影响因子: 1.2
• 作者: Honma Hiroaki;Tohyama Yukiya;Ikeno Sho;Toshiyoshi Hiroshi
• 通讯作者: Toshiyoshi Hiroshi

Power enhancement of MEMS vibrational electrostatic energy harvester by stray capacitance reduction

• DOI: 10.1088/1361-6439/ac2e46
• 发表时间: 2021-12-01
• 期刊: JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING
• 影响因子: 2.3
• 作者: Honma, Hiroaki;Tohyama, Yukiya;Toshiyoshi, Hiroshi
• 通讯作者: Toshiyoshi, Hiroshi

Enlargement of Frequency Bandwidth of Vibrational MEMS Energy Harvester by High Density Electrets

利用高密度驻极体扩大振动 MEMS 能量收集器的频率带宽

• 发表时间: 2020
• 作者: Hiroaki Honma;Yukiya Tohyama;Hiroyuki Mitsuya;Hisayuki Ashizawa;Hiroshi Toshiyoshi
• 通讯作者: Hiroshi Toshiyoshi

Bandwidth Broadening of MEMS Vibration Energy Harvesters by Voltage-Boost Rectifier Circuit

通过升压整流电路拓宽 MEMS 振动能量收集器的带宽

• 发表时间: 2022
• 期刊: Sensors and Materials
• 影响因子: 1.2
• 作者: Yukiya Tohyama;Hiroaki Honma;Hiroshi Toshiyoshi;and Daisuke Yamane
• 通讯作者: and Daisuke Yamane

Energy Harvesting from Non-Stationary Vibrations Using a Low-Threshold Voltage-Boost Rectifier Circuit

使用低阈值升压整流器电路从非稳态振动中收集能量

• DOI: 10.1541/ieejsmas.141.228
• 发表时间: 2021
• 期刊: IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
• 作者: Tohyama Yukiya;Honma Hiroaki;Sekiya Hidehiko;Toshiyoshi Hiroshi;Yamane Daisuke
• 通讯作者: Yamane Daisuke