Ofensystem zur Oxidation und Ausheilung von Halbleiterbauelementen

用于半导体元件氧化和退火的炉系统

• 批准号: 324920367
• 金额: --
• 依托单位: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2017
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2016-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/324920367?language=en
• 关键词: Ofensystem; zur; Oxidation; und; Ausheilung

Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente (LEB) betreibt zusammen mit dem Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) seit 30 Jahren Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der Halbleitertechnologie. Im Reinraumlabor der Friedrich-Alexander-Universität (FAU) steht dafür eine umfangreiche Prozess- und Analytiktechnik zur Verfügung, die die gesamte Herstellungskette von der Halbleiterscheibe bis zur integrierten Schaltung umfasst. Das beantragte Ofensystem soll ein vorhandenes Ofensystem aus dem Jahr 1986 ersetzen und die Prozessmöglichkeiten wesentlich erweitern, bzw. den zusätzlichen Anforderungen der "More than Moore"-Technologien gerecht werden. Bei dem vorhandenem Ofensystem stellt vor allem die mangelnde Zuverlässigkeit sowie das Beschaffen von Ersatzteilen bzw. die Reparatur von defekten Komponenten ein großes Problem dar, da der Hersteller das vorhandene System seit längerem nicht mehr unterstützt. Das neue Ofensystem soll zudem die Prozessierungsmöglichkeiten des LEB in Bezug auf seine neue Forschungsschwerpunkte, vor allem Bauelemente auf Basis von Siliciumcarbid und anorganische Dünnfilmelektronik, erweitern. State-of-the-Art-Halbleiterfertigungsgeräte wie das neue Ofensystem sind auch wichtig bei der Ausbildung des akademischen Nachwuchses.

Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente（LEB）betreibt zusammen mit dem Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie（IISB）seit 30 Jahren Forschung und Entwicklung auf dem Halbleitertechnologie.在Friedrich-Alexander-Universität（FAU）的再培训中，我们将采用一种先进的过程和分析技术来进行测试，这种方法可以使Halbleiterscheibe的测试结果更加准确。这是一个自1986年以来的最后一个司法系统，它的运作和程序都很好。“不止摩尔”--技术上的韦尔登。在最后的操作系统中，所有的操作系统都是由Ersatzteilen bzw控制的。在Hersteller看来，修复损坏的部件是一个大问题，这一点并不梅尔清楚。这一新的系统将在新的研究领域中对LEB的工艺进行研究，其中包括基于碳化硅和有机薄膜电子的元件。最新技术水平-Halbleiterfertigungsgeräte wie das neue Ofensystem sind auch wichtig bei der Ausbildung des akademischen Nachwuchses.