Research on lithography using projection exposure of stereophonic surface

立体声表面投影曝光光刻技术研究

基本信息

  • 批准号:
    20K05293
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.83万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2020
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2020-04-01 至 2023-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(17)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Patterning-Area Expansion of Parabolic-Mirror Projection Optics for Lithography Using One-Sided and Collimated Illumination
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Toshiyuki Horiuchi;J. Iwasaki;Hiroshi Kobayashi
  • 通讯作者:
    Toshiyuki Horiuchi;J. Iwasaki;Hiroshi Kobayashi
放物面ミラーを用いた立体リソグラフィ投影露光光学系の検討
抛物面镜立体光刻投影曝光光学系统的研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    堀内敏行;小林宏史
  • 通讯作者:
    小林宏史
青色発光ダイオードでコリメート照明した対向放物面鏡立体投影 リソグラフィによるスプーン面へのパターン形成の実証
使用蓝色发光二极管进行准直照明的相对抛物面镜的三维投影 使用光刻技术演示勺子表面上的图案形成
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    竹内 美洋;菅洋志;王映樵;若原孝次;塚越一仁;堀内 敏行,小林 宏史
  • 通讯作者:
    堀内 敏行,小林 宏史
立体面投影露光装置
三维投影曝光设备
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
Situation of Stereophonic Lithography Using Parabolic Mirrors, Abstract p.59
使用抛物面镜进行立体光刻的情况,摘要第 59 页
  • DOI:
  • 发表时间:
    2023
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Toshiyuki Horiuchi;Jun-ya Iwasaki;Hiroshi Kobayashi
  • 通讯作者:
    Hiroshi Kobayashi
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Horiuchi Toshiyuki其他文献

Physical picture of Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-based relaxors
Pb(Mg1/3Nb2/3)O3基弛豫剂的物理图
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Horiuchi Toshiyuki;Okiyama Hayato;Sato Ryuta;Kobayashi Hiroshi;Desheng Fu
  • 通讯作者:
    Desheng Fu
Performances of Fine-Pitch Lenticular Lens Arrays Fabricated Using Semi-Cylindrical Resist Patterns
使用半圆柱形光刻胶图案制造的细间距柱状透镜阵列的性能
  • DOI:
    10.2494/photopolymer.32.67
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0.8
  • 作者:
    Horiuchi Toshiyuki;Kurata Maiko;Miyazawa Satoshi;Yanagida Akira;Kobayashi Hiroshi
  • 通讯作者:
    Kobayashi Hiroshi

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  • 通讯作者:
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利用厚抗蚀剂图案截面轮廓控制的微透镜阵列制造技术研究
  • 批准号:
    17K05021
  • 财政年份:
    2017
  • 资助金额:
    $ 2.83万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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