Research on lithography using projection exposure of stereophonic surface
立体声表面投影曝光光刻技术研究
基本信息
- 批准号:20K05293
- 负责人:
- 金额:$ 2.83万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2020
- 资助国家:日本
- 起止时间:2020-04-01 至 2023-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(17)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Patterning-Area Expansion of Parabolic-Mirror Projection Optics for Lithography Using One-Sided and Collimated Illumination
- DOI:
- 发表时间:2022
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Toshiyuki Horiuchi;J. Iwasaki;Hiroshi Kobayashi
- 通讯作者:Toshiyuki Horiuchi;J. Iwasaki;Hiroshi Kobayashi
青色発光ダイオードでコリメート照明した対向放物面鏡立体投影 リソグラフィによるスプーン面へのパターン形成の実証
使用蓝色发光二极管进行准直照明的相对抛物面镜的三维投影 使用光刻技术演示勺子表面上的图案形成
- DOI:
- 发表时间:2022
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:竹内 美洋;菅洋志;王映樵;若原孝次;塚越一仁;堀内 敏行,小林 宏史
- 通讯作者:堀内 敏行,小林 宏史
Situation of Stereophonic Lithography Using Parabolic Mirrors, Abstract p.59
使用抛物面镜进行立体光刻的情况,摘要第 59 页
- DOI:
- 发表时间:2023
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Toshiyuki Horiuchi;Jun-ya Iwasaki;Hiroshi Kobayashi
- 通讯作者:Hiroshi Kobayashi
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- DOI:
- 发表时间:
2018 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
Horiuchi Toshiyuki;Okiyama Hayato;Sato Ryuta;Kobayashi Hiroshi;Desheng Fu - 通讯作者:
Desheng Fu
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2019 - 期刊:
- 影响因子:0.8
- 作者:
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Kobayashi Hiroshi
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- 批准号:
17K05021 - 财政年份:2017
- 资助金额:
$ 2.83万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)