Research on fabrication technology of micro-lens arrays utilizing cross section profile control of thick resist patterns

利用厚抗蚀剂图案截面轮廓控制的微透镜阵列制造技术研究

基本信息

  • 批准号:
    17K05021
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3.08万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2017
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2017-04-01 至 2020-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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专利数量(0)
Applications of photopolymer resists to direct fabrication of three-dimensional micro-structures
光敏树脂抗蚀剂在三维微结构直接制造中的应用
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Toshiyuki Horiuchi;Noa Kobayashi;Yuta Morizane;Ryunosuke Sasaki;Maiko Kurata;Satoshi Miyazawa;Kouta Shimizu;Hiroshi Kobayashi;Akira Yanagida
  • 通讯作者:
    Akira Yanagida
Two-layer resist process for printing thick patterns by exploiting a maskless projection exposure system using a liquid-crystal-display panel
  • DOI:
    10.35848/1347-4065/ab7438
  • 发表时间:
    2020-03
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    T. Horiuchi;Hayato Okiyama;R. Sato;Hiroshi Kobayashi
  • 通讯作者:
    T. Horiuchi;Hayato Okiyama;R. Sato;Hiroshi Kobayashi
マイクロレンズアレイ製作用凹面レジストパターンの曲率半径の測定
用于微透镜阵列生产的凹形抗蚀剂图案曲率半径的测量
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    堀内敏行;笹木龍之介;小林野歩
  • 通讯作者:
    小林野歩
Application of projection lithography using a gradient-index lens array and wet etching to texturing for control of the hydrophobic properties of stainless-steel plates
  • DOI:
    10.7567/1347-4065/ab0543
  • 发表时间:
    2019-05
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    T. Horiuchi;Yutaka Kazama;Hiroya Yoshida;A. Yanagida;Hiroshi Kobayashi
  • 通讯作者:
    T. Horiuchi;Yutaka Kazama;Hiroya Yoshida;A. Yanagida;Hiroshi Kobayashi
Fabrication of a Stent-Like Complicated Structure Using Synchronized Scan Rotation Lithography and Wet Chemical Etching
使用同步扫描旋转光刻和湿法化学蚀刻制造类似支架的复杂结构
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Pb(Mg1/3Nb2/3)O3基弛豫剂的物理图
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Horiuchi Toshiyuki;Okiyama Hayato;Sato Ryuta;Kobayashi Hiroshi;Desheng Fu
  • 通讯作者:
    Desheng Fu

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  • DOI:
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  • 发表时间:
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  • 作者:
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    2009
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    $ 3.08万
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    08J02717
  • 财政年份:
    2008
  • 资助金额:
    $ 3.08万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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    20560071
  • 财政年份:
    2008
  • 资助金额:
    $ 3.08万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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    $ 3.08万
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    16760205
  • 财政年份:
    2004
  • 资助金额:
    $ 3.08万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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    16700388
  • 财政年份:
    2004
  • 资助金额:
    $ 3.08万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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