Research on fabrication technology of micro-lens arrays utilizing cross section profile control of thick resist patterns
Research on fabrication technology of micro-lens arrays utilizing cross section profile control of thick resist patterns
利用厚抗蚀剂图案截面轮廓控制的微透镜阵列制造技术研究
批准号：
17K05021
负责人：
Horiuchi Toshiyuki
金额：
$3.08万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2017
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2017-04-01 至 2020-03-31
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Applications of photopolymer resists to direct fabrication of three-dimensional micro-structures
光敏树脂抗蚀剂在三维微结构直接制造中的应用
光敏树脂抗蚀剂在三维微结构直接制造中的应用
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Toshiyuki Horiuchi, Noa Kobayashi, Yuta Morizane, Ryunosuke Sasaki, Maiko Kurata, Satoshi Miyazawa, Kouta Shimizu, Hiroshi Kobayashi, Akira Yanagida]
通讯作者：
Akira Yanagida
DOI：
10.35848/1347-4065/ab7438
发表时间：
2020-03
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
[T. Horiuchi;Hayato Okiyama;R. Sato;Hiroshi Kobayashi]
通讯作者：
T. Horiuchi;Hayato Okiyama;R. Sato;Hiroshi Kobayashi
マイクロレンズアレイ製作用凹面レジストパターンの曲率半径の測定
用于微透镜阵列生产的凹形抗蚀剂图案曲率半径的测量
用于微透镜阵列生产的凹形抗蚀剂图案曲率半径的测量
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[堀内敏行, 笹木龍之介, 小林野歩]
通讯作者：
小林野歩
DOI：
10.7567/1347-4065/ab0543
发表时间：
2019-05
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
[T. Horiuchi;Yutaka Kazama;Hiroya Yoshida;A. Yanagida;Hiroshi Kobayashi]
通讯作者：
T. Horiuchi;Yutaka Kazama;Hiroya Yoshida;A. Yanagida;Hiroshi Kobayashi
Fabrication of a Stent-Like Complicated Structure Using Synchronized Scan Rotation Lithography and Wet Chemical Etching
使用同步扫描旋转光刻和湿法化学蚀刻制造类似支架的复杂结构
使用同步扫描旋转光刻和湿法化学蚀刻制造类似支架的复杂结构
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
Proceedings of ASPEN2019, 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
影响因子：
--
作者：
[Toshiyuki Horiuchi, Kaiki Ito, Yuhta Suzuki, Akira Yanagida and Hiroshi Kobayashi]
通讯作者：
Akira Yanagida and Hiroshi Kobayashi
共 21 条
Research on lithography using projection exposure of stereophonic surface
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批准号：20K05293
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$2.83万
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财政年份：2020
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负责人：Horiuchi Toshiyuki
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依托单位：
海外基金