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複合励起分子を用いた炭化ケイ素表面絶縁膜のリアルタイム反応制御と高品質化
利用复杂激发分子对碳化硅表面绝缘膜进行实时反应控制和质量改进
基本信息
- 批准号：24K07572
- 负责人：
- 金额：$ 2.91万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2024
- 资助国家：日本
- 起止时间：2024-04-01 至 2027-03-31
- 项目状态：未结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
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