单晶硅薄膜生长过程中光电子能谱强度振荡的基础研究-猫眼课题宝

单晶硅薄膜生长过程中光电子能谱强度振荡的基础研究

批准号：

04750002

负责人：

遠田義晴

金额：

$0.7万

依托单位：

Tohoku University

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)

财政年份：

1992

资助国家：

日本

项目状态：

已结题

起止时间：

1992 至 --

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-04750002/

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会议论文

複合励起分子を用いた炭化ケイ素表面絶縁膜のリアルタイム反応制御と高品質化

批准号：

24K07572
项目类别：

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
资助金额：

$2.91万
财政年份：

2024
负责人：

遠田義晴
依托单位：

Hirosaki University

リアルタイム光電子分光法によるシリコン熱酸化過程の研究

批准号：

11750023
项目类别：

Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
资助金额：

$1.41万
财政年份：

1999
负责人：

遠田義晴
依托单位：

Hirosaki University

リアルタイム光電子分光による半導体表面準位の新解析法

批准号：

09750027
项目类别：

Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
资助金额：

$1.41万
财政年份：

1997
负责人：

遠田義晴
依托单位：

Tohoku University

角度分解光電子強度の周期的振動による単原子層結晶成長制御に関する研究

批准号：

05750002
项目类别：

Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
资助金额：

$0.77万
财政年份：

1993
负责人：

遠田義晴
依托单位：

Tohoku University