Fabrication of infrared devices via anisotropical Si etching in KOH solution
Fabrication of infrared devices via anisotropical Si etching in KOH solution
通过 KOH 溶液中各向异性硅蚀刻制造红外器件
批准号：
19K05315
负责人：
Yamada Itsunari
金额：
$2.83万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2019-04-01 至 2023-03-31
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DOI：
10.1080/09500340.2021.1936245
发表时间：
2021-06
期刊：
Journal of Modern Optics
影响因子：
1.3
作者：
[I. Yamada]
通讯作者：
I. Yamada
ゾル-ゲル法を用いて成膜したジルコニア薄膜の赤外評価
溶胶-凝胶法形成的氧化锆薄膜的红外评价
溶胶-凝胶法形成的氧化锆薄膜的红外评价
DOI：
--
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
作者：
[村松泰雅, 鳥居大希, 山田逸成]
通讯作者：
山田逸成
DOI：
10.1364/ao.392883
发表时间：
2020-06
期刊：
Applied Optics
影响因子：
1.9
作者：
[I. Yamada;R. Yoshida]
通讯作者：
I. Yamada;R. Yoshida
Fabrication of reflective polarization wavelength filter via anodization of Ti grating film
Ti光栅膜阳极氧化制备反射偏振波长滤波器
Ti光栅膜阳极氧化制备反射偏振波长滤波器
DOI：
10.1364/ao.459721
发表时间：
2022
期刊：
Appl. Opt.
影响因子：
--
作者：
[Koichiro Takao, Juliane Maerz, Moe Matsuoka, Takanori Mashita, Hiroyuki Kazama, Satoru Tsushima, Satoru Tsushima, I. Yamada]
通讯作者：
I. Yamada
Silicone grating fabricated using photoresist mold
使用光刻胶模具制作的硅胶光栅
使用光刻胶模具制作的硅胶光栅
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[村松泰雅, 鳥居大希, 山田逸成, 西川剛，山田逸成, I. Yamada and Y. Ikeda]
通讯作者：
I. Yamada and Y. Ikeda
共 13 条
Fabrication and evaluation of infrared element by low-temperature imprint processing with sol-gel method
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批准号：15K04698
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$3.24万
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财政年份：2015
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负责人：Yamada Itsunari
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依托单位：