Diamantartige Nanoschichten auf vorstrukturierten polymerabgeleiteten SiC-Oberflächen

1.Ergebnisse：Die Erste Projekt Phase Lieferte Aussagenüber die Möglichkeiten der Erzeugung Diamantantartiger Nanoschichten auf unterschiedlicchen ein-und Polykristallinen SiliciumCaricium-Substrten Sowieüber die Herstellung Geeigneter StructurierberTemplate Dh ch chrolyse von PolyCarbon silanen(PCS)。从并行的热动力学和量子化学的理论出发，从结构和稳定的角度分析，我们选择的纳米材料的运输方式是：温度、温度。MIT Atomebenen-abbildenden(HRTEM)和纳米化学(EFTEM，EELS，Elnes，EDXS)Charakterisierungen der verschiedenen Reaktionsstadien Sowie Sowie Konnten最佳技术参数der Diamantbildung ermittelt。2.在PCS-abgeleiteten模板优化前驱体-Gemische and die Enrechenden Pre-chenden热解不产生的情况下，Sowohl zur-Sur-Bildung führen、Als-duch-dch Variablen en molekularen aufbau and einstellbau-eine Mikrostrukturierung der PCS-abgeleiteten ic-OberfläChenüber verschiedenen Substrenen(Si-Wafern，Silkicautschuk：PDMS)möglich machen2.Fortsetzung：Darauf aufbauend wird nnn in der Zweiten Projektase zunächst，im Untersched zu den biisherigen Versuhenen zur NanoDiamantant-BZW.CDC-Bildung，die Steuerung der Kohlenstoffphasen-Dynamiküber die strukturellen and Chemischen细节des Templats angestestret，Dessen Eigenschaften das Herstellungsverfahren(Präkeramchen Polymermerrary)and Dendch Dotierungen MIT zit.kalych tiven Komententen Modifiziert des Templats angestestret，Dessen Eigenschaften das Herstellungsverfahren(Präkeramchen Polmermerper)and Dendch Dotierungen MIT zz.kalych aktiven Komententen Modifizien.在Abstimmung Dumit中，它是PCS-abgeleiteten模板下的Strukturierungsmöglichkeiten。大足是PCSüber PDMS和Silesquioxan(PMS)/PCS复合缠绕材料的新结构。从碳化硅到多晶碳化硅的模数，以及碳化硅和纳米碳化硅之间的相互作用，以及碳化硅和纳米金属之间的相互作用，以及碳化硅和纳米碳化物的转化。

1. Ergebnisse: Die erste Projektphase lieferte Aussagen über die Möglichkeiten der Erzeugung diamantartiger Nanoschichten auf unterschiedlichen ein- und polykristallinen Siliciumcarbid-Substraten sowie über die Herstellung geeigneter strukturierbarer Template durch Pyrolyse von Polycarbosilanen (PCS). Entsprechend dem Arbeitsplan wurde parallel zu thermokinetischen und quantenchemischen theoretischen Untersuchungen der Bildungsgeschwindigkeit, der Struktur und der Stabilität der sp3-hybridisierten Nanobereiche in umfangreichen Versuchsreihen die Abhängigkeit des selektiven Silicium-Transports aus dem Gitterverband sowie der anschließenden Umstrukturierung von den zahlreichen Prozeßparametern aufgeklärt, wie Ätzgaszusammensetzung (insbesondere das Verhältnis Cl2/H2), Strömungsgeschwindigkeit, Temperatur, Ätzzeit, Morphologie und Orientierung der Substratoberfläche. Mit Atomebenen-abbildenden (HRTEM) und nanochemischen (EFTEM, EELS, ELNES, EDXS) Charakterisierungen der verschiedenen Reaktionsstadien sowie Raman-Methoden konnten optimale prozeßtechnologische Parameter der Diamantbildung ermittelt werden. Bezüglich der Herstellung der PCS-abgeleiteten Template konnten die optimalen Precursor-Gemische und die entsprechenden Pyrolysebedingungen ermittelt werden, die sowohl zur SiC-Bildung führen, als auch - durch variablen molekularen Aufbau und einstellbare rheologische Eigenschaften - eine Mikrostrukturierung der PCS-abgeleiteten SiC-Oberflächen über verschiedenen Substraten (Si-Wafern, Siliconkautschuk: PDMS) möglich machen.2. Fortsetzung: Darauf aufbauend wird nun in der zweiten Projektphase zunächst, im Unterschied zu den bisherigen Versuchen zur Nanodiamant- bzw. CDC-Bildung, die Steuerung der Kohlenstoffphasen-Dynamik über die strukturellen und chemischen Details des Templats angestrebt, dessen Eigenschaften durch das Herstellungsverfahren (Pyrolyse eines präkeramischen Polymerprecursors) und durch Dotierungen mit z.B. katalytisch aktiven Komponenten modifiziert werden können. In Abstimmung damit werden ergänzend die Strukturierungsmöglichkeiten der PCS-abgeleiteten Template untersucht. Dazu werden neue Verfahren für die Strukturierung der PCS über PDMS und Silsesquioxan(PMS)/PCSKomposite entwickelt. Anschließend sollen die an den ein- und polykristallinen Siliciumcarbid-Modellsubstraten gewonnenen Erkenntnisse angewandt werden, um die prozeßtechnologischen Voraussetzungen für die SiC/Nanodiamant-Transformation an vorstrukturierten, PCS-abgeleiteten Siliciumcarbid-Templaten zu schaffen, wobei als Anwendungsbeispiel von aktuellem Interesse die Herstellung diffraktiver, mikrooptischer Bauelemente angestrebt wird.