Maßgeschneiderte Metallkomplexe für die Darstellung von Metall- und Metalloxidfilmen

用于表示金属和金属氧化物薄膜的定制金属配合物

基本信息

项目摘要

Das gemeinsame Ziel des Forschungsvorhabens ist die Entwicklung einer Technologie zur Abscheidung von Übergangsmetall und -metalloxidfilmen aus neuartigen Precursoren (Chemie) am Beispiel von Eisen, Ruthenium und Wolfram durch optimierte MOCVD-Verfahren (Ingenieurswissenschaften). Die Kombination von Arbeits- und Vorgehensweise aus den Ingenieurswissenschaften (Emig/Popovska) und der Chemie (Zennecke) ermöglicht die Erreichung des anspruchsvollen Ziels.
这是一项新的技术和金属氧化物领域的技术合作,这是一项新的技术。他说:“这是一件很重要的事情,因为这是一件很重要的事情。

项目成果

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