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Maßgeschneiderte Metallkomplexe für die Darstellung von Metall- und Metalloxidfilmen

Maßgeschneiderte Metallkomplexe für die Darstellung von Metall- und Metalloxidfilmen
用于表示金属和金属氧化物薄膜的定制金属配合物
批准号：
5313478
负责人：
Professorin Dr.-Ing. Nadejda Popovska-Leipertz
金额：
$0.0万
依托单位：
Lehrstuhl für Anorganische und Allgemeine Chemie
依托单位国家：
德国
项目类别：
Priority Programmes
财政年份：
2001
资助国家：
德国
项目状态：
已结题
起止时间：
2000-12-31 至 2007-12-31
来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5313478?language=en
关键词：
MageschneiderteMetallkomplexedieDarstellung

项目摘要

项目成果

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Das gemeinsame Ziel des Forschungsvorhabens ist die Entwicklung einer Technologie zur Abscheidung von Übergangsmetall und -metalloxidfilmen aus neuartigen Precursoren (Chemie) am Beispiel von Eisen, Ruthenium und Wolfram durch optimierte MOCVD-Verfahren (Ingenieurswissenschaften). Die Kombination von Arbeits- und Vorgehensweise aus den Ingenieurswissenschaften (Emig/Popovska) und der Chemie (Zennecke) ermöglicht die Erreichung des anspruchsvollen Ziels.
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Diamantartige Nanoschichten auf vorstrukturierten polymerabgeleiteten SiC-Oberflächen
  • 批准号：
    34549461
  • 项目类别：
    Research Grants
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2007
  • 负责人：
    Professorin Dr.-Ing. Nadejda Popovska-Leipertz
  • 依托单位：
    Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik
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