Maßgeschneiderte Metallkomplexe für die Darstellung von Metall- und Metalloxidfilmen
用于表示金属和金属氧化物薄膜的定制金属配合物
基本信息
- 批准号:5313478
- 负责人:
- 金额:--
- 依托单位:
- 依托单位国家:德国
- 项目类别:Priority Programmes
- 财政年份:2001
- 资助国家:德国
- 起止时间:2000-12-31 至 2007-12-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
Das gemeinsame Ziel des Forschungsvorhabens ist die Entwicklung einer Technologie zur Abscheidung von Übergangsmetall und -metalloxidfilmen aus neuartigen Precursoren (Chemie) am Beispiel von Eisen, Ruthenium und Wolfram durch optimierte MOCVD-Verfahren (Ingenieurswissenschaften). Die Kombination von Arbeits- und Vorgehensweise aus den Ingenieurswissenschaften (Emig/Popovska) und der Chemie (Zennecke) ermöglicht die Erreichung des anspruchsvollen Ziels.
这是一项新的技术和金属氧化物领域的技术合作,这是一项新的技术。他说:“这是一件很重要的事情,因为这是一件很重要的事情。
项目成果
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专著数量(0)
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