マルチモデルサンプリングに基づくSoCの欠陥レベル見積り及び削減法

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本年度は主に，(1)AIを用いたウェハマップ上の欠陥パターンの検出，および(2)少数の実欠陥位置情報に基づいて，欠陥モデル画像を自動生成する手法，について検討を進めた．(1)に関しては，CapsNetを用いたウェハマップ欠陥パターン分類手法に関して，再構成画像と入力画像の誤差を削減することによってより高い検出精度を達成することを目的として実験を行い，成果の一部を国内研究会にて発表した．現在，国際会議発表への投稿準備中である．また，昨年度実施した多重欠陥検出に関して査読付き学術論文として投稿を行った．(2)に関しては，少数の欠陥デバイスしか入手できない場合を想定し，欠陥レイアウトデータのデータ拡張手法について検討し，その評価を行った．敵対的生成ネットワークGAN技術のうち，極少数の入力画像からデータ拡張可能なFew-Shot GANを用いて実験を行い，国内研究会において発表した．