Spatial Distribution Analysis of Photo Resist Using Resonant Soft X-ray Reflectmetry and Scattering methods

使用共振软 X 射线反射测量和散射方法分析光刻胶的空间分布

基本信息

  • 批准号:
    19K12644
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.75万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2019
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2019-04-01 至 2022-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(17)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Removal of Surface Contamination by Atomic Hydrogen Annealing
通过原子氢退火去除表面污染
  • DOI:
    10.2494/photopolymer.33.419
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0.8
  • 作者:
    Heya Akira;Harada Tetsuo;Niibe Masahito;Sumitomo Koji;Watanabe Takeo
  • 通讯作者:
    Watanabe Takeo
軟X線共鳴散乱・反射率法による有機材料の構造解析
使用软 X 射线共振散射/反射法分析有机材料的结构
  • DOI:
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    原田哲男;山川進二;渡邊健夫
  • 通讯作者:
    渡邊健夫
Fundamental research activities on EUV lithography at NewSUBARU synchrotron light facility
NewSUBARU 同步加速器光设施的 EUV 光刻基础研究活动
  • DOI:
    10.1117/12.2600896
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Watanabe Takeo;Harada T.;Yamakawa S.
  • 通讯作者:
    Yamakawa S.
Resonant Soft X-ray Reflectivity for the Chemical Analysis in Thickness Direction of EUV Resist
用于 EUV 光刻胶厚度方向化学分析的共振软 X 射线反射率
Fundamental Evaluation of Resist on EUV Lithography at NewSUBARU Synchrotron Light Facility
NewSUBARU 同步加速器光源设施 EUV 光刻抗蚀剂的基本评估
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Harada Tetsuo其他文献

Grazing-Incidence Soft-X-ray Scattering for the Chemical Structure Size Distribution Analysis in EUV Resist
用于 EUV 光刻胶化学结构尺寸分布分析的掠入射软 X 射线散射
Development of a high-power EUV irradiation tool in a hydrogen atmosphere
氢气氛下高功率EUV辐照工具的开发
  • DOI:
    10.35848/1347-4065/ac15ef
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    Harada Tetsuo;Yamakawa Shinji;Toyoda Mitsunori;Watanabe Takeo
  • 通讯作者:
    Watanabe Takeo
Plasmon-induced Hot Carrier Chemistry
等离激元诱导热载流子化学
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Nagata Yutaka;Harada Tetsuo;Watanabe Takeo;Kinoshita Hiroo;Midorikawa Katsumi;T. Teranishi
  • 通讯作者:
    T. Teranishi
Roles of Vocabulary Knowledge for Success in English-Medium Instruction: Self-Perceptions and Academic Outcomes of Japanese Undergraduates
词汇知识在英语教学中的成功作用:日本本科生的自我认知和学业成果
  • DOI:
    10.1002/tesq.453
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    3.2
  • 作者:
    Uchihara Takumi;Harada Tetsuo
  • 通讯作者:
    Harada Tetsuo
At wavelength coherent scatterometry microscope using high-order harmonics for EUV mask inspection
使用高次谐波进行 EUV 掩模检查的波长相干散射显微镜
  • DOI:
    10.1088/2631-7990/ab3b4e
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    14.7
  • 作者:
    Nagata Yutaka;Harada Tetsuo;Watanabe Takeo;Kinoshita Hiroo;Midorikawa Katsumi
  • 通讯作者:
    Midorikawa Katsumi

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Linguistic skills of children in a Japanese-English two-way immersion program: Implications for English language teaching in elementary school
日英双向沉浸式课程中儿童的语言技能:对小学英语教学的启示
  • 批准号:
    16K02982
  • 财政年份:
    2016
  • 资助金额:
    $ 2.75万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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