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Spatial Distribution Analysis of Photo Resist Using Resonant Soft X-ray Reflectmetry and Scattering methods
使用共振软 X 射线反射测量和散射方法分析光刻胶的空间分布
基本信息
- 批准号：19K12644
- 负责人：
- 金额：$ 2.75万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2019
- 资助国家：日本
- 起止时间：2019-04-01 至 2022-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（17）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Removal of Surface Contamination by Atomic Hydrogen Annealing
通过原子氢退火去除表面污染
- DOI：10.2494/photopolymer.33.419
- 发表时间：2020
- 期刊：
- 影响因子：0.8
- 作者：Heya Akira;Harada Tetsuo;Niibe Masahito;Sumitomo Koji;Watanabe Takeo
- 通讯作者：Watanabe Takeo
Fundamental research activities on EUV lithography at NewSUBARU synchrotron light facility
NewSUBARU 同步加速器光设施的 EUV 光刻基础研究活动
- DOI：10.1117/12.2600896
- 发表时间：2021
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Watanabe Takeo;Harada T.;Yamakawa S.
- 通讯作者：Yamakawa S.
Resonant Soft X-ray Reflectivity for the Chemical Analysis in Thickness Direction of EUV Resist
用于 EUV 光刻胶厚度方向化学分析的共振软 X 射线反射率
- DOI：10.2494/photopolymer.32.333
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：0.8
- 作者：Ishiguro Takuma;Tanaka Jun;Harada Tetsuo;Watanabe Takeo
- 通讯作者：Watanabe Takeo
Fundamental Evaluation of Resist on EUV Lithography at NewSUBARU Synchrotron Light Facility
NewSUBARU 同步加速器光源设施 EUV 光刻抗蚀剂的基本评估
- DOI：10.2494/photopolymer.34.49
- 发表时间：2021
- 期刊：
- 影响因子：0.8
- 作者：Watanabe Takeo;Harada Tetsuo;Yamakawa Shinji
- 通讯作者：Yamakawa Shinji
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Harada Tetsuo其他文献
Grazing-Incidence Soft-X-ray Scattering for the Chemical Structure Size Distribution Analysis in EUV Resist
用于 EUV 光刻胶化学结构尺寸分布分析的掠入射软 X 射线散射
- DOI：
10.2494/photopolymer.35.61 - 发表时间：
2022 - 期刊：
- 影响因子：0.8
- 作者：
Nakamoto Atsunori;Yamakawa Shinji;Harada Tetsuo;Watanabe Takeo - 通讯作者：
Watanabe Takeo
Development of a high-power EUV irradiation tool in a hydrogen atmosphere
氢气氛下高功率EUV辐照工具的开发
- DOI：
10.35848/1347-4065/ac15ef - 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：
Harada Tetsuo;Yamakawa Shinji;Toyoda Mitsunori;Watanabe Takeo - 通讯作者：
Watanabe Takeo
Plasmon-induced Hot Carrier Chemistry
等离激元诱导热载流子化学
- DOI：
- 发表时间：
2019 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Nagata Yutaka;Harada Tetsuo;Watanabe Takeo;Kinoshita Hiroo;Midorikawa Katsumi;T. Teranishi - 通讯作者：
T. Teranishi
Roles of Vocabulary Knowledge for Success in English-Medium Instruction: Self-Perceptions and Academic Outcomes of Japanese Undergraduates
词汇知识在英语教学中的成功作用：日本本科生的自我认知和学业成果
- DOI：
10.1002/tesq.453 - 发表时间：
2018 - 期刊：
- 影响因子：3.2
- 作者：
Uchihara Takumi;Harada Tetsuo - 通讯作者：
Harada Tetsuo
Affinity Analysis of Photoacid Generator in the Thin Film of Chemical Amplification Resist by Contact Angle Measurement
接触角测量法分析化学增幅抗蚀剂薄膜中光产酸剂的亲和力
- DOI：
10.2494/photopolymer.34.111 - 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0.8
- 作者：
Yamakawa Shinji;Yamamoto Ako;Yasui Seiji;Watanabe Takeo;Harada Tetsuo - 通讯作者：
Harada Tetsuo
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{{ truncateString('Harada Tetsuo', 18)}}的其他基金
Linguistic skills of children in a Japanese-English two-way immersion program: Implications for English language teaching in elementary school
日英双向沉浸式课程中儿童的语言技能：对小学英语教学的启示
- 批准号：
16K02982 - 财政年份：2016
- 资助金额：
$ 2.75万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)