裏面照射光電子放出励起放電によるプラズマの生成と特性の評価
裏面照射光電子放出励起放電によるプラズマの生成と特性の評価
通过背照式光电子发射激发放电评估等离子体的产生和特性
批准号：
24K07006
负责人：
八田 章光
金额：
$2.75万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-04-01 至 2027-03-31
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リフトオフによる半導体ダイヤモンド単結晶薄膜の作成と物性評価
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批准号：12750281
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$1.34万
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财政年份：2000
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负责人：八田 章光
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依托单位：
小型ECRプラズマ源の開発とダイヤモンド薄膜作製への応用
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批准号：05780358
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.58万
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财政年份：1993
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负责人：八田 章光
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依托单位：