Kohärente Röntgenstreuung an individuellen SiGe/Si Nanostrukturen

在此基础上，提出了一种新的操作方法和特点。Das vorliegende Projekt Widget Sich in Diesem Kontext MIT Hilfe des Model Systems SiGe/Si einem Hochinteressanten Teilaspekt：Der Detail lierten Charakterisierung dreidisionaler DeformationsFor der Under innerhalb and in der Umgebung einzelner Inselstrukturen and zielt Somit auf ein tieferes Verständnis der zugrunde liegenden Wachstumsmisisman.Zum einen Lässt sich das deformationsfeld mittels Planwell entopopture ie qurekt abbilden，zum and deren ermöglichen Seit Kurzem Verfügbaar，bis auf wenige 100 nm Spotgröber e fokussierare Synchrotronstrahlugsquellen die Untersusuong个别勒Nano-skalier Objekte auch mittels hochaufelöster扩散者Röntgenstreuung，einer Methode die bisllang nur Inselemblen vouten war.所有的人都知道这是一件很重要的事情，因为这是一件很重要的事情。

Nanostrukturphysik fokussiert sich zunehmend auf die Erzeugung, Manipulation und Charakterisierung individueller nanoskaliger Objekte. Das vorliegende Projekt widmet sich in diesem Kontext mit Hilfe des Modellsystems SiGe/Si einem hochinteressanten Teilaspekt: der detaillierten Charakterisierung dreidimensionaler Deformationsfelder innerhalb und in der Umgebung einzelner Inselstrukturen und zielt somit auf ein tieferes Verständnis der zugrunde liegenden Wachstumsmechanismen. Zum einen lässt sich das Deformationsfeld mittels Planwellentopographie quasi direkt abbilden, zum anderen ermöglichen seit kurzem verfügbare, bis auf wenige 100 nm Spotgröße fokussierbare Synchrotronstrahlungsquellen die Untersuchung individueller nano-skaliger Objekte auch mittels hochaufgelöster diffuser Röntgenstreuung, einer Methode die bislang nur Inselensemblen vorbehalten war. Allerdings erlauben beide Verfahren keine direkte Rückrechnung und liefern Ergebnisse im Ortsraum nur im Rahmen numerischer Streusimulationen, für die der Takagi-Taupin Formalismus bzw. ein von uns entwickelter kinematische Streuansatz zum Einsatz kommen.