Kohärente Röntgenstreuung an individuellen SiGe/Si Nanostrukturen

单个 SiGe/Si 纳米结构的相干 X 射线散射

• 批准号: 35840079
• 负责人: Privatdozent Dr. Michael Hanke
• 金额: --
• 依托单位: Paul-Drude-Institut für Festkörperelektronik (PDI)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2006-12-31 至 2009-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/35840079?language=en
• 关键词: Koh; rente; ntgenstreuung; individuellen; SiGe

Nanostrukturphysik fokussiert sich zunehmend auf die Erzeugung, Manipulation und Charakterisierung individueller nanoskaliger Objekte. Das vorliegende Projekt widmet sich in diesem Kontext mit Hilfe des Modellsystems SiGe/Si einem hochinteressanten Teilaspekt: der detaillierten Charakterisierung dreidimensionaler Deformationsfelder innerhalb und in der Umgebung einzelner Inselstrukturen und zielt somit auf ein tieferes Verständnis der zugrunde liegenden Wachstumsmechanismen. Zum einen lässt sich das Deformationsfeld mittels Planwellentopographie quasi direkt abbilden, zum anderen ermöglichen seit kurzem verfügbare, bis auf wenige 100 nm Spotgröße fokussierbare Synchrotronstrahlungsquellen die Untersuchung individueller nano-skaliger Objekte auch mittels hochaufgelöster diffuser Röntgenstreuung, einer Methode die bislang nur Inselensemblen vorbehalten war. Allerdings erlauben beide Verfahren keine direkte Rückrechnung und liefern Ergebnisse im Ortsraum nur im Rahmen numerischer Streusimulationen, für die der Takagi-Taupin Formalismus bzw. ein von uns entwickelter kinematische Streuansatz zum Einsatz kommen.

纳米结构物理，纳米结构物理，纳米结构物理，纳米结构物理，纳米结构物理，纳米结构物理，纳米结构物理。as vorliegende project（项目）widmet（项目）in diesem context mit hilife des modelsystem（项目）SiGe/Si einem（项目）hochinteres（项目）；detail（项目）；characterterisierung（项目）；dimensional（项目）；deformation（项目）；innerhalb（项目）；in der Umgebung（项目）；Zum einen lässt sich das Deformationsfeld mittels planwellentography准直接abbilden， Zum anderen ermöglichen seit kurzem verfgbare， bis auf wenige 100 nm Spotgröße fumsierbare Synchrotronstrahlungsquellen die Untersuchung个人纳米skalger object aujekte auch mittelels hochaufgelöster扩散器Röntgenstreuung， einer Methode bislang nur Inselensemblen vorbehalten war。研究方向：数学模拟与数值模拟；数值模拟与数值模拟；数值模拟与数值模拟；数值模拟与数值模拟；数值模拟与数值模拟；数值模拟与数值模拟；数值模拟与数值模拟；数值模拟与数值模拟；运动学分析与特别行动研究。