Surface reaction mechanisms for plasma enhanced atomic layer etching process by organic compounds
Surface reaction mechanisms for plasma enhanced atomic layer etching process by organic compounds
有机化合物等离子体增强原子层刻蚀工艺的表面反应机制
批准号：
18K13532
负责人：
Ito Tomoko
金额：
$2.58万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
财政年份：
2018
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2018-04-01 至 2021-03-31
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Reactions of Hexafluoroacetylacetone (hfac) and Metal Surfaces under Low-energy Ion Irradiation,
低能离子辐照下六氟乙酰丙酮（hfac）与金属表面的反应，
低能离子辐照下六氟乙酰丙酮（hfac）与金属表面的反应，
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Y. Matsuda, M. Funato and Y. Kawakami, 舛田武仁, 金子りさ・井出 哲・中野 優, Tomoko Ito]
通讯作者：
Tomoko Ito
Analyses of Hexafluoroacetylacetone (Hfac) Adsorbed on Transition Metal Surfaces
过渡金属表面吸附的六氟乙酰丙酮 (Hfac) 的分析
过渡金属表面吸附的六氟乙酰丙酮 (Hfac) 的分析
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi]
通讯作者：
Satoshi Hamaguchi
ヘキサフルオロアセチルアセトンによる遷移金属(Ni, Co)におけるサーマルエッチング反応解析
使用六氟乙酰丙酮对过渡金属（Ni、Co）进行热蚀刻反应分析
使用六氟乙酰丙酮对过渡金属（Ni、Co）进行热蚀刻反应分析
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志]
通讯作者：
浜口智志
遷移金属におけるβジケトンによるサーマルエッチング表面反応解析
过渡金属中β-二酮的热蚀刻表面反应分析
过渡金属中β-二酮的热蚀刻表面反应分析
DOI：
--
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
作者：
[伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志]
通讯作者：
浜口智志
(19)“Mechanisms for Atomic Layer Etching of Metal Films by the Formation of Beta-diketonate Metal Complexes
(19)“通过形成β-二酮金属配合物对金属薄膜进行原子层蚀刻的机制”
(19)“通过形成β-二酮金属配合物对金属薄膜进行原子层蚀刻的机制”
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi]
通讯作者：
Satoshi Hamaguchi
共 12 条
Novel DNA vaccine strategy to elicit antitumor immune responses by transfecting with plasmids coding for pathogenic antigens
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批准号：26350533
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$3.08万
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财政年份：2014
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负责人：Ito Tomoko
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依托单位：
海外基金