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The study of surface liquid phase epitaxy for the fabrication of silicon nano-structures

表面液相外延制备硅纳米结构的研究

基本信息

批准号：
18K14129
负责人：
Nishimura Takashi
金额：
$ 2.66万
依托单位：
Suzuka National College of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
财政年份：
2018
资助国家：
日本
起止时间：
2018-04-01 至 2020-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18K14129/
关键词：
表面融液エピタキシャル結晶成長シリサイド微小結晶表面結晶アレイ表面融液液相エピタキシャル結晶成長シリコン準溶融状態液相エピタキシャル成長鉄シリサイド半導体微細加工法溶融凝固エレクトロマイグレーション表面微細パターニング

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（5）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Microanalysis of silicon protrusions with a titanium cap formed via surface melting and solidification under applied tensile stress

在施加拉应力下通过表面熔化和凝固形成的带有钛帽的硅突出物的微观分析

DOI：
10.7567/1347-4065/aaf46c
发表时间：
2019
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
Akihiro Yamaji;Shinnosuke Yamato;Shunsuke Kurosawa;Masao Yoshino;Satoshi Toyoda;Kei Kamada;Yuui Yokota;Hiroki Sato;Yuji Ohashi and Akira Yoshikawa;Takashi Nishimura1 and Masahiko Tomitori
通讯作者：
Takashi Nishimura1 and Masahiko Tomitori

Formation of Silicon Protrusions via Surface Melting and Solidification Under Applied Tensile Stress

在施加拉应力下通过表面熔化和凝固形成硅突起

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
ANNUAL REPORT OF THE MURATA SCIENCE FOUNDATION
影响因子：
0
作者：
斉藤大志;柏木行康;玉井聡行;T.Nishimura
通讯作者：
T.Nishimura

応力印加場での局所表面融液エピタキシャル結晶成長による突起構造形成過程の熱画像解析

应力场下局部表面熔融外延晶体生长突起结构形成过程的热像分析

DOI：
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
0
作者：
Yamato Shinnosuke;Yamaji Akihiro;Kurosawa Shunsuke;Yoshino Masao;Ohashi Yuji;Kamada Kei;Yokota Yuui;Yoshikawa Akira;Daniel M. Packwood;西村高志,磯部文哉,富取正彦
通讯作者：
西村高志,磯部文哉,富取正彦

局所応力印加下での金属蒸着表面液相エピタキシャル成長による突起構造形成

局部应力施加下金属蒸发表面液相外延生长形成突起结构

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
西村高志;富取正彦
通讯作者：
富取正彦

局所応力印加下での表面液相エピタキシャル成長で形成した表面突起構造の断面構造解析

局部应力作用下表面液相外延生长形成的表面突起结构截面结构分析

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
西村高志;富取正彦
通讯作者：
富取正彦

DOI：
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作者：
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Nishimura Takashi其他文献

Usefulness of spleen stiffness measurement using VTQ in diagnosing esophagogastric varices including the relationship with collateral vessels.

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DOI：
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
0
作者：
Nakano Chikage;Nishimura Takashi;Aoki Tomoko;Kishino Kyohei;Shimono Yoshihiro;Hasegawa Kunihiro;Takata Ryo;Yoh Kazunori;Ishii Akio;Takashima Tomoyuki;Sakai Yoshiyuki;Aizawa Nobuhiro;Ikeda Naoto;Nishikawa Hiroki;Iwata Yoshinori;Enomoto Hiray
通讯作者：
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影响因子：
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发表时间：
2022
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影响因子：
0
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DOI：
发表时间：
2022
期刊：
肝胆膵
影响因子：
0
作者：
Nishida Naoshi;Yamakawa Makoto;Shiina Tsuyoshi;Mekada Yoshito;Nishida Mutsumi;Sakamoto Naoya;Nishimura Takashi;Iijima Hiroko;Hirai Toshiko;Takahashi Ken;Sato Masaya;Tateishi Ryosuke;Ogawa Masahiro;Mori Hideaki;Kitano Masayuki;Toyoda Hidenori;Ogawa Chikara;目加田慶人;西田直生志，山川誠，目加田慶人，椎名毅，工藤正俊;池田裕亮，道満恵介，目加田慶人，西田直生志，工藤正俊
通讯作者：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
Nishida Naoshi;Yamakawa Makoto;Shiina Tsuyoshi;Mekada Yoshito;Nishida Mutsumi;Sakamoto Naoya;Nishimura Takashi;Iijima Hiroko;Hirai Toshiko;Takahashi Ken;Sato Masaya;Tateishi Ryosuke;Ogawa Masahiro;Mori Hideaki;Kitano Masayuki;Toyoda Hidenori;Ogawa Chikara;目加田慶人;西田直生志，山川誠，目加田慶人，椎名毅，工藤正俊;池田裕亮，道満恵介，目加田慶人，西田直生志，工藤正俊;内河友哉，道満恵介，目加田慶人，西田直生志，工藤正俊;目加田慶人，西田直生志，工藤正俊;池田裕亮，道満恵介，小川眞広，西田直生志，工藤正俊
通讯作者：
池田裕亮，道満恵介，小川眞広，西田直生志，工藤正俊