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Alignment Control of Self-ordered Nanodots for Novel Functional Devices

新型功能器件的自序纳米点的对准控制

基本信息

批准号：
18KK0409
负责人：
牧原克典
金额：
$ 9.9万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Fund for the Promotion of Joint International Research (Fostering Joint International Research (A))
财政年份：
2019
资助国家：
日本
起止时间：
2019 至 2023
项目状态：
已结题

项目摘要

本年度は、IHP（渡航先外国機関）において、Reduced-pressure CVDを用いて200mm-Siウェハ上にGeコアSi量子ドット構造を高密度・一括形成し、所属機関において室温PL特性を評価するとともに、EL特性も評価した。各CVD工程後のAFM表面形状像測定において、ドット面密度に顕著な変化は認められず、サイズ分布から算出した平均高さが随時増大していることを確認した。断面TEM-EDXマッピングでは、GeH4-CVD後では予め形成したSi量子ドット上に均一にGeが堆積しており、その後の650℃熱処理においては顕著な変化は認められないものの、SiH4-CVD後では明瞭なコア／シェル構造が認められた。尚、Geコア高さはAFM像から得られた平均ドット高さの差(~1.6nm)と矛盾しない。形成したLEDからは、ELスペクトルでは、電圧振幅-1.0Vで0.65～0.85eVにブロードなELスペクトルが認められ、電圧の増大に伴いEL強度は増大し、高エネルギ側の増大がより顕著であった。また、得られたELスペクトルはPLと同様に4成分でピーク分離でき、印加電圧の増加による各成分のピークエネルギー位置の変化は認められなかった。これらの結果は、順方向バイアス印加により、a-Si層から電子注入とp-Si基板から正孔注入が進行し、電子－正孔の量子準位間での発光再結合が生じたと説明でき、印加電圧の増加に伴ってGeコアにおける高次の量子準位を介した再結合発光が支配的になると考えられる。

This year, IHP (the first foreign machine for ferry) and Reduced-pressure CVD used the Ge

项目成果

期刊论文数量（97）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Feシリサイドドットの発光特性評価

硅化铁点的发光特性评价

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
古幡裕志;斎藤陽斗;牧原克典;大田晃生;田岡紀之;宮﨑誠一
通讯作者：
宮﨑誠一

リモート水素プラズマ支援FePt合金ナノドット自己組織化形成プロセスにおける基板温度が磁化特性に与える影響

远程氢等离子体辅助FePt合金纳米点自组装形成过程中基底温度对磁化性能的影响

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
本田俊輔，古幡裕志;大田晃生;池田弥央;大島大輝;加藤剛志;牧原克典,宮﨑誠一
通讯作者：
牧原克典,宮﨑誠一

Effect of substrate temperature on plasma-enhanced self-assembling formation of high-density FePt nanodots

基底温度对等离子体增强自组装形成高密度 FePt 纳米点的影响

DOI：
10.35848/1347-4065/ac2036
发表时间：
2022
期刊：
Jpn. J. Appl. Phys.
影响因子：
0
作者：
S. Honda;K. Makihara;N. Taoka;H. Furuhata;A. Ohta;D. Oshima;T. Kato;and S. Miyazaki
通讯作者：
and S. Miyazaki

Light-emission Properties of High-density Superatom-like Ge-core/Si-shell Quantum Dots

高密度类超原子Ge核/Si壳量子点的发光特性