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レーザフィラメント電子増強ラマン分光によるガラス表面層のナノ・インプロセス計測

レーザフィラメント電子増強ラマン分光によるガラス表面層のナノ・インプロセス計測
使用激光灯丝电子增强拉曼光谱对玻璃表面层进行纳米过程测量
批准号:
23K22646
负责人:
高谷 裕浩
金额:
$2.16万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份:
2024
资助国家:
日本
项目状态:
未结题
起止时间:
2024-02-28 至 2025-03-31
关键词:

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Study on Nano-in-process Measurement of Glass Surface Layer using Electron Enhanced Raman Scattering Spectroscopy (EERS) in Laser Filamentation
  • 批准号:
    22H01375
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额:
    $11.07万
  • 财政年份:
    2022
  • 负责人:
    高谷 裕浩
  • 依托单位:
The Fundamentals of Engineered Surface Metrology based on Quantum Effect of Photon Scattering
  • 批准号:
    21K18159
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Pioneering)
  • 资助金额:
    $16.56万
  • 财政年份:
    2021
  • 负责人:
    高谷 裕浩
  • 依托单位:
自己組織化加工制御のためのナノ3次元構造インプロセス計測に関する基礎研究
  • 批准号:
    20656027
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额:
    $2.18万
  • 财政年份:
    2008
  • 负责人:
    高谷 裕浩
  • 依托单位:
フェムト秒時間分解変位計測に関する基礎研究
  • 批准号:
    18656047
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额:
    $2.24万
  • 财政年份:
    2006
  • 负责人:
    高谷 裕浩
  • 依托单位: