次世代CMPプロセスを拓くデジタルツイン基盤とサイバーフィジカルシステムの開発
次世代CMPプロセスを拓くデジタルツイン基盤とサイバーフィジカルシステムの開発
批准号:
23K22652
负责人:
鈴木 教和
金额:
$2.91万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份:
2024
资助国家:
日本
项目状态:
未结题
起止时间:
2024-02-28 至 2025-03-31
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会议论文
次世代CMPプロセスを拓くデジタルツイン基盤とサイバーフィジカルシステムの開発
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批准号:22H01381
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额:$11.15万
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财政年份:2022
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负责人:鈴木 教和
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依托单位:
焼結材料の延性モード加工を可能とする超高周波振動切削加工に関する研究
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批准号:17760103
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项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额:$2.24万
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财政年份:2005
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负责人:鈴木 教和
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依托单位:
楕円振動切削加工法による超硬合金の超精密微細加工
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批准号:15760078
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项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额:$2.24万
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财政年份:2003
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负责人:鈴木 教和
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依托单位: