板組コイル陽極を用いた金属窒化物膜形成用フィルタードアーク蒸着装置の開発
使用板线圈阳极形成金属氮化物膜的过滤电弧蒸发设备的开发
基本信息
- 批准号:23K22741
- 负责人:
- 金额:$ 1.91万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份:2024
- 资助国家:日本
- 起止时间:2024-02-28 至 2025-03-31
- 项目状态:未结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
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