板組コイル陽極を用いた金属窒化物膜形成用フィルタードアーク蒸着装置の開発
板組コイル陽極を用いた金属窒化物膜形成用フィルタードアーク蒸着装置の開発
使用板线圈阳极形成金属氮化物膜的过滤电弧蒸发设备的开发
批准号：
23K22741
负责人：
滝川 浩史
金额：
$1.91万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-02-28 至 2025-03-31
中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
板組コイル陽極を用いた金属窒化物膜形成用フィルタードアーク蒸着装置の開発
-
批准号：22H01470
-
项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
-
资助金额：$11.23万
-
财政年份：2022
-
负责人：滝川 浩史
-
依托单位：
ナノカーボンの表面ナノコーティングと太陽電池への適用に対する基礎検討
-
批准号：15656074
-
项目类别：Grant-in-Aid for Exploratory Research
-
资助金额：$2.18万
-
财政年份：2003
-
负责人：滝川 浩史
-
依托单位：
連続パスル真空アーク放電を利用したドロップレットフリー電子材料薄膜創製
-
批准号：11750260
-
项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
-
资助金额：$1.34万
-
财政年份：1999
-
负责人：滝川 浩史
-
依托单位：
大電流領域におけるプラスチック溶発アークの基礎特性
-
批准号：05750258
-
项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
-
资助金额：$0.58万
-
财政年份：1993
-
负责人：滝川 浩史
-
依托单位：