プラズマプロセスによる膜形成の一般則の統合研究
プラズマプロセスによる膜形成の一般則の統合研究
等离子体工艺成膜一般规律的综合研究
批准号：
24H00205
负责人：
白谷 正治
金额：
$30.45万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-04-01 至 2029-03-31
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会议论文
Mechanism elucidation of spatio-temporal structure formation of sheath fluctuation using optically trapped fine particles in plasmas
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批准号：20H00142
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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资助金额：$28.87万
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财政年份：2020
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负责人：白谷 正治
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依托单位：
プラズマを用いたナノカプセルの創製と物質内包技術の開発
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批准号：18656027
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项目类别：Grant-in-Aid for Exploratory Research
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资助金额：$2.18万
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财政年份：2006
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负责人：白谷 正治
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依托单位：
プラズマCVD法による銅薄膜の選択形成に関する研究
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批准号：07750360
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.64万
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财政年份：1995
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负责人：白谷 正治
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依托单位：
プラズマCVD法による銅薄膜形成機構に関する研究
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批准号：06750325
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.58万
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财政年份：1994
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负责人：白谷 正治
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依托单位：
微粒子プラズマに関する実験的研究
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批准号：04780006
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.58万
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财政年份：1992
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负责人：白谷 正治
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依托单位：
シランプラズマ中の微粒子発生機構に関する研究
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批准号：01750270
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.58万
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财政年份：1989
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负责人：白谷 正治
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依托单位：