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UV光照射によるネガ型レジストの電子ビーム露光での感度向上

UV光照射によるネガ型レジストの電子ビーム露光での感度向上
使用紫外光照射通过电子束曝光提高负性抗蚀剂的灵敏度
批准号：
24H02555
负责人：
田村 茂雄
金额：
$0.29万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-04-01 至 2025-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-24H02555/
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UV光照射ポジ型レジストによる電子ビーム露光感度の向上
  • 批准号：
    18H00269
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
  • 资助金额：
    $0.34万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    田村 茂雄
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
電子ビーム露光レジストの現像によるクラック防止対策
  • 批准号：
    16H00369
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
  • 资助金额：
    $0.35万
  • 财政年份：
    2016
  • 负责人：
    田村 茂雄
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
電子ビーム露光アライメントマークの電子ビーム走査によるコンタミネーション防止対策
  • 批准号：
    26918010
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
  • 资助金额：
    $0.38万
  • 财政年份：
    2014
  • 负责人：
    田村 茂雄
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
電子ビーム露光による回折格子周期のナノメートルサイズ精密制御
  • 批准号：
    20920015
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
  • 资助金额：
    $0.36万
  • 财政年份：
    2008
  • 负责人：
    田村 茂雄
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology