课题基金 / 基金详情

半導体多層量子薄膜の極微細加工技術

半導体多層量子薄膜の極微細加工技術
半导体多层量子薄膜超微细加工技术
批准号：
06919032
负责人：
田村 茂雄
金额：
$0.13万
依托单位：
東京工業大
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (B)
财政年份：
1994
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1994 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-06919032/
关键词：

项目摘要

项目成果

田村 茂雄的其他基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
UV光照射によるネガ型レジストの電子ビーム露光での感度向上
  • 批准号：
    24H02555
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
  • 资助金额：
    $0.29万
  • 财政年份：
    2024
  • 负责人：
    田村 茂雄
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
UV光照射ポジ型レジストによる電子ビーム露光感度の向上
  • 批准号：
    18H00269
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
  • 资助金额：
    $0.34万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    田村 茂雄
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
電子ビーム露光レジストの現像によるクラック防止対策
  • 批准号：
    16H00369
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
  • 资助金额：
    $0.35万
  • 财政年份：
    2016
  • 负责人：
    田村 茂雄
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
電子ビーム露光アライメントマークの電子ビーム走査によるコンタミネーション防止対策
  • 批准号：
    26918010
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
  • 资助金额：
    $0.38万
  • 财政年份：
    2014
  • 负责人：
    田村 茂雄
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology