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二次元材料アシストエッチングによる半導体表面構造制御
通过二维材料辅助蚀刻控制半导体表面结构
基本信息
- 批准号：24K01179
- 负责人：
- 金额：$ 11.9万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2024
- 资助国家：日本
- 起止时间：2024-04-01 至 2027-03-31
- 项目状态：未结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
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杉村 博之
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CDT 第 1 年，预计 2024 年 10 月
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