Quasi-quantitative characterization of defect density in SiC substrate after thermal oxidation by photo-assited capacitance measurement

通过光辅助电容测量准定量表征热氧化后 SiC 衬底中的缺陷密度

基本信息

  • 批准号:
    16K14227
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.33万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 财政年份:
    2016
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2016-04-01 至 2018-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(34)
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数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

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Control of thermal oxidation of 4H-SiC(0001) to enhance MOSFET channel mobility by tuning partial pressures of oxidants (O2 and H2O) and oxidation temperature
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  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Hirai Hirohisa;Ishinoda Kei;Kita Koji
  • 通讯作者:
    Kita Koji
Minimization of SiO2/4H-SiC (0001) Interface State Density by Low-Temperature Post-Oxidation-Annealing in Wet Ambient after Nitrogen Passivation
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  • DOI:
    10.1149/08602.0061ecst
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Kita Koji;Nishida Mizuki;Sakuta Ryota;Hirai Hirohisa
  • 通讯作者:
    Hirai Hirohisa
Anomalous temperature dependence of Al2O3/SiO2 and Y2O3/SiO2 interface dipole layer strengths
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    10.1063/1.5079926
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    3.2
  • 作者:
    Nittayakasetwat Siri;Kita Koji
  • 通讯作者:
    Kita Koji
Significant Structural Distortion in the Surface Region of 4H-SiC Induced by Thermal Oxidation and Recovered by Ar Annealing
热氧化引起的 4H-SiC 表面区域显着的结构畸变并通过 Ar 退火恢复
  • DOI:
    10.1149/08612.0063ecst
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Kita Koji;Hatmanto Adhi Dwi
  • 通讯作者:
    Hatmanto Adhi Dwi
Interface-Selective Low-Temperature Wet-O2 Annealing to Enhance 4H-SiC(0001) MOSFET Mobility by Improving Near Interface SiO2 Quality
界面选择性低温湿式 O2 退火通过提高近界面 SiO2 质量来增强 4H-SiC(0001) MOSFET 迁移率
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Hirai Hirohisa;Ishinoda Kei;Kita Koji
  • 通讯作者:
    Kita Koji

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{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
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    {{ item.doi }}
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    {{ item.factor }}
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    $ 2.33万
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{{ showInfoDetail.title }}

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