Sphere measurement using whispering gallery mode
Sphere measurement using whispering gallery mode
使用回音壁模式进行球体测量
批准号：
24656102
负责人：
MICHIHATA Masaki
金额：
$2.58万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2012
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2012-04-01 至 2014-03-31
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英文摘要
Probe calibration contributes measurement uncertainty of micro- coordinate measuring machine (micro-CMM). This study proposes a new method of measuring the diameter of a stylus sphere for micro-CMM based on analysis of the whispering gallery modes (WGMs). Depending on incident wavelength, different WGMs will be excited in the probe-stylus. This wavelength spectral fingerprint is also sensitive to the diameter of a sphere. The diameter of the micro-probe stylus sphere was determined by means of least square method between theoretical and measured spectra of WGMs. Measurement results showed that precision of the proposed method was 1 nm.
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Laser trapping and whispering gallery mode for micro-scale metrology
用于微尺度计量的激光捕获和回音壁模式
用于微尺度计量的激光捕获和回音壁模式
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Masaki Michihata, Ryosuke Gake, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata]
通讯作者：
Masaki Michihata
WGM共振を利用した微小球の直径計測 (第2報) -WGM波長スペクトルを用いた球径の推定方法-
使用 WGM 共振的微球直径测量（第二次报告） - 使用 WGM 波长谱的球直径估计方法 -
使用 WGM 共振的微球直径测量（第二次报告） - 使用 WGM 波长谱的球直径估计方法 -
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
[M.Michihata, T.Yoshikane, T.Hayashi, Y.Takaya, 道畑正岐,足立篤,林照剛,高谷裕浩, 道畑正岐，足立 篤，林 照剛，高谷裕浩]
通讯作者：
道畑正岐，足立 篤，林 照剛，高谷裕浩
Progress in Optomechatronic Technologies "chapter 4"
光机电一体化技术进展“第四章”
光机电一体化技术进展“第四章”
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Atsushi Adachi, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya]
通讯作者：
Yasuhiro Takaya
DOI：
10.1080/15599612.2012.760122
发表时间：
2013
期刊：
International journal of Optomechatronics
影响因子：
5.5
作者：
[M.Michihata, T.Yoshikane, T.Hayashi, Y.Takaya]
通讯作者：
Y.Takaya
WGモード解析に基づくマイクロプローブの直径計測原理に関する研究
基于WG模式分析的微探针直径测量原理研究
基于WG模式分析的微探针直径测量原理研究
DOI：
--
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
作者：
[A. Adachi, M. Michihata, T. Hayashi, Y. Takaya, 峨家諒介,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩, 足立篤,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩]
通讯作者：
足立篤,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
共 13 条
Microsphere resonator based micro-probe for 3-dimensional coordinate metrology
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批准号：22860034
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项目类别：Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
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资助金额：$2.01万
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财政年份：2010
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负责人：MICHIHATA Masaki
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依托单位：