Sphere measurement using whispering gallery mode

使用回音壁模式进行球体测量

• 批准号: 24656102
• 负责人: MICHIHATA Masaki
• 金额: $ 2.58万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2012
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2012-04-01 至 2014-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-24656102/
• 关键词: マイクロCMM; 直径計測; Whispering gallery mode; テーパファイバ; WGM; マイクロ球; マイクロプローブ; 真球度

Probe calibration contributes measurement uncertainty of micro- coordinate measuring machine (micro-CMM). This study proposes a new method of measuring the diameter of a stylus sphere for micro-CMM based on analysis of the whispering gallery modes (WGMs). Depending on incident wavelength, different WGMs will be excited in the probe-stylus. This wavelength spectral fingerprint is also sensitive to the diameter of a sphere. The diameter of the micro-probe stylus sphere was determined by means of least square method between theoretical and measured spectra of WGMs. Measurement results showed that precision of the proposed method was 1 nm.

测头标定是微坐标测量机测量不确定度的重要组成部分。提出了一种基于回音壁模式的测量微三坐标测量机测球直径的新方法。取决于入射波长，不同的WGM将在探针-触针中被激发。该波长光谱指纹也对球体的直径敏感。利用WGM的理论光谱和实测光谱之间的最小二乘法确定了微探针球的直径。测量结果表明，该方法的测量精度为1 nm。

项目成果

Laser trapping and whispering gallery mode for micro-scale metrology

用于微尺度计量的激光捕获和回音壁模式

• 作者: Masaki Michihata;Ryosuke Gake;Terutake Hayashi;Yasuhiro Takaya;Masaki Michihata
• 通讯作者: Masaki Michihata

WGM共振を利用した微小球の直径計測 (第2報) -WGM波長スペクトルを用いた球径の推定方法-

使用 WGM 共振的微球直径测量（第二次报告） - 使用 WGM 波长谱的球直径估计方法 -

• 发表时间: 2014
• 作者: M.Michihata;T.Yoshikane;T.Hayashi;Y.Takaya;道畑正岐,足立篤,林照剛,高谷裕浩;道畑正岐，足立 篤，林 照剛，高谷裕浩
• 通讯作者: 道畑正岐，足立 篤，林 照剛，高谷裕浩

Progress in Optomechatronic Technologies "chapter 4"

光机电一体化技术进展“第四章”

• 发表时间: 2014
• 作者: Atsushi Adachi;Masaki Michihata;Terutake Hayashi;Yasuhiro Takaya
• 通讯作者: Yasuhiro Takaya

New technique for single-beam gradient-force optical trapping in air

空气中单光束梯度力光捕获新技术

• DOI: 10.1080/15599612.2012.760122
• 发表时间: 2013
• 期刊: International journal of Optomechatronics
• 影响因子: 5.5
• 作者: M.Michihata;T.Yoshikane;T.Hayashi;Y.Takaya
• 通讯作者: Y.Takaya

WGモード解析に基づくマイクロプローブの直径計測原理に関する研究

基于WG模式分析的微探针直径测量原理研究

• 发表时间: 2013
• 作者: A. Adachi;M. Michihata;T. Hayashi;Y. Takaya;峨家諒介,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩;足立篤,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
• 通讯作者: 足立篤,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩