课题基金 / 基金详情

広領域SOS気体圧力センサーの研究

広領域SOS気体圧力センサーの研究
广域SOS气压传感器研究
批准号:
57850093
负责人:
安田 幸夫
金额:
$3.14万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
财政年份:
1982
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1982 至 --
关键词:

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人工IV族半導体極微細構造デバイス製作のための原子精度要素プロセスの開発
  • 批准号:
    11232203
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $73.15万
  • 财政年份:
    1999
  • 负责人:
    安田 幸夫
  • 依托单位:
電子エネルギー損失分光法を用いたフリーラジカルと半導体表面の相互作用の研究
  • 批准号:
    06228217
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.47万
  • 财政年份:
    1994
  • 负责人:
    安田 幸夫
  • 依托单位:
電子エネルギー損失分光法を用いたフリーラジカルと半導体表面の相互作用の研究
  • 批准号:
    05237218
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.66万
  • 财政年份:
    1993
  • 负责人:
    安田 幸夫
  • 依托单位:
界面の作製とその精密制御
  • 批准号:
    03216102
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $16.19万
  • 财政年份:
    1991
  • 负责人:
    安田 幸夫
  • 依托单位: