サブミクロン表面分析用高輝度Zr-W.T.F.電子銃の試作

用于亚微米表面分析的高亮度 Zr-W.T.F 电子枪原型

• 批准号: 60850015
• 负责人: 越川 孝範
• 金额: $ 2.56万
• 依托单位: Osaka Electro-Communication University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
• 财政年份: 1985
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1985 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-60850015/
• 关键词: 高輝度電子銃; ジルコニウム

購入したZr-Wエミッターを、今回新らたに試作設計した電子銃ヘッド部にとりつけ、高安定T.F.放射特性について一連の実験を行った。試作した電子銃ヘッド部は、0.5mmφの孔径のシットキーシールド電極をもっており、この電極前面より、0.5mmだけエミッター先端がつき出た状態で、高圧を印加し、前面に設置された螢光板(陽極)上で、エミッションパターンならびにエミッション電流を観測した。エミッションの先端は、長時間安定性の視点より、0.8mm径のものを用い;ショットキーシールド電極はエミッターに対して、OVに設定して出来るだけ強電界がエミッター先端にかかるように配慮した。実験条件は次のとうりである。まず、電子銃ヘッド部を超高真空エミションパターン観測装置(<【10^(-9)】Torr)に保持して、〜1800Kで数秒間フラッシングを行った後、エミッター温度を、〜1500Kに保持して、5-6KVの高圧を印加し、エミッションパターンを観察すると同時にエミッション電流を測定した。このような実験をエミッターを大気にさらせた後も何度かくり返すことによって、熱電界エミッション特性が非常に安定し、再現性も良いことが確認できた。特に、真空度が【10^(-8)】Torr領域でも十分安定なエミッション特性を示すことから、高輝度電子銃として十分実用に出来るとの結論を得た。さらに現在、0.2mm径のZr-Wエミッターについても同 の特性実験を行っており、より高輝度の電子源が得られるかどうかについて検討中である。今後は、この電子銃ヘッド部を当研究室に設置されている複合表面分析装置のオージェSEM部にマウントして、実際にサブミクロン領域のオージェ分析を実現するための検討を行う予定である。

Purchased したZr-W エミッターを, and this time the new らたに trial design したelectronic gunヘッIt is a high-stable T.F. high-radiation radioactive material. Prototype electronic gun, 0.5mmφ aperture diameterドelectrode をもっており, このelectrode front より, 0.5mm だけエミッターfirst The end is out of the state, the high pressure is applied, and the front is installed on the fluorescent panel (anode ) on the エミッションパターンならびにエミッションcurrent tester. The cutting-edge technology of エミッションのは, the long-term stability of the viewpoint より, the 0.8mm diameter のものを use; ショットキーシールドelectric极はエミッターに対して, OVにSETして出るだけSTRONG ELECTRONIC JIE がエミッターPIE にかかるように配 consider した.実験conditionsは时のとうりである.まず, ELECTRONICS HIGH VACUUM TECHNOLOGY DEVICES (<【10^ (-9)】Torr) is maintained and ~1800K is maintained for a few seconds.た后、エミッターtemperatureを、~1500Kにmaintenanceして、5-6KVのHigh voltageをIncaし, エミッションパターンを観看すると and にエミッションcurrent をmeasurement.このような実験をエミッターを大気にさらせた后も多かくり回すことによって, The thermoelectric industry's thermoelectric properties are very stable and reproducible, and the reproducibility has been confirmed. Special characteristics, vacuum degree [10^(-8)] Torr field is very stable, the characteristics are very stable, and the high-brightness electronic gun is very useful, and the conclusion is obtained.さらにNow, 0.2mm diameter のZr-W エミッターについても Same Characteristics include high-brightness electron source and high-brightness electron source. From now on, we will set up the SEM Department of the Composite Surface Analysis Device in the Laboratory of Electronic Technology.マウントして、実记にサブミクロン区のオージェANALYSIS を実 appearances するための検 Discussion を行う下注である.