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放射光-極微解析ナノスコープ

同步辐射 - 显微分析纳米显微镜

基本信息

批准号：
13GS0022
负责人：
越川孝範
金额：
$ 256.26万
依托单位：
Osaka Electro-Communication University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Creative Scientific Research
财政年份：
2001
资助国家：
日本
起止时间：
2001 至 2005
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-13GS0022/
关键词：
光電子顕微鏡表面・界面物性解析・評価放射光ナノ材料

项目摘要

今年度は、主に放射光を用いた焦点位置変調球面収差除去法による高分解能化に関する実験を行った。具体的にはイタリアのELETTRA放射光施設において、タングステン上に成長させた金からの内殻光電子を結像し、焦点位置変調球面収差除去法を適用した。その結果、従来と比較して、コントラストアパーチャのサイズを大きくしても分解能の劣化が起こらないことを示すことができた。これに付随して、コントラストアパーチャを大きくしたことにより、取り込み角が大きくなったため、信号強度が大きくなった。このようにして、焦点位置変調球面収差除去法が、光電子顕微鏡において有効であることが立証された。更なる高分解能化に関しては、対物レンズの収差以外の要因がいくつかあることが明らかと成ってきた。これは、高分解能測定を行った結果、初めて明らかになったものである。その一つとして、微弱な光電子顕微鏡像を増幅して映し出すためのマイクロチャンネルプレートおよび蛍光スクリーンが挙げられる。チャンネルプレートでの増幅過程における電子の広がり、および蛍光スクリーンでの蛍光のにじみにより、空間分解能が劣化するというものであり、光電子顕微鏡像の観察における本質的な問題を含んでいる。これまで、こうした問題は指摘されてこなかったが、装置の分解能を評価する上で、非常に大きな影響を及ぼすことがわかった。これ以外にもいくつもの要因が明らかとなってきており、今後さらに検討を行っていく必要があると考えている。

This year, the main radioluminescence system uses the focal point position, the spherical difference to remove the high decomposition energy. For the specific equipment, the ELETTRA radiation equipment equipment, the growth device, the optical electron image display, the focal position measurement and the spherical error removal method are used. The results were compared, and the results were compared. The results showed that the decomposition could be deteriorated. The signal strength is very high, and the signal strength is high. It is necessary to detect the error of the spherical surface in the position of the focus, the method of removing the difference between the spherical surface and the focal point, and the photoelectron microphone system has to do so. In addition, the high decomposition can make a difference between the material and the material, and it is necessary to make a difference. High resolution and high resolution can be used to determine the results of the operation. As soon as it is too late, the weak photoelectron micro-image will reflect the impact of each other on the performance of the laser. The process of optical transmission, optical emission, optical emission, and space decomposition can lead to the deterioration of thermal conductivity and photoelectron microscope. the problem of monitoring the equipment includes an error. The problem is that the device can be broken down, the device can be decomposed, the device is very large, and the device is very large. In addition, it is necessary to know that it is necessary to do so in the future.