Analysenanlage für Atmosphärendruckplasmen für Nanomaterialienherstellung

Atmosphere ärendruckplasmen bieten wegen der Nichtgleichgewichtsbedingungen，hoher Metastabilenstellenund Stoßraten-dominierten Reaktionen eine neuartige Möglichkeit，Nanomaterialien oder Nanokristalle herzustellen. In situ Diagnostik von Atmosphere ärendruckprozessen ist allerdings aufwendig und viele Plasmaprozesse und Reaktionswege，die für das Wachstum des Materials/ der Nanoteilchen verantwortlich sind，sind noch noch gut verstanden.该建筑物的大部分都是在原地进行的金属、气体加工、上表面加工和材料特征加工，并平行进行。Dafür韦尔登有三个加热器，一个带有控制气氛的反应器。用分子激光质谱法测量再生和稳定血浆产品的绝对灵敏度。材料和Seiner Oberfläche的化学结合，或者替代稳定气相分子的Dichten，韦尔登采用原位傅里叶变换-红外吸收光谱检测。纳米粒子的生成和生产率，在大气环境中进行等离子体处理，韦尔登使用扫描迁移率粒度仪。但这三种方法都能使血浆分析韦尔登变得更好，因为这些血浆经常被用来进行再生产。Neben ihrer Combination können diese Geräte auch einzeln für die Diagnostik von anderen Plasmen benutzt韦尔登。

Atmosphärendruckplasmen bieten wegen der Nichtgleichgewichtsbedingungen, hoher Metastabilendichten und Stoßraten-dominierten Reaktionen eine neuartige Möglichkeit, Nanomaterialien oder Nanokristalle herzustellen. In situ Diagnostik von Atmosphärendruckprozessen ist allerdings aufwendig und viele Plasmaprozesse und Reaktionswege, die für das Wachstum des Materials/ der Nanoteilchen verantwortlich sind, sind noch nicht gut verstanden. Das geplante Großgerät bietet die Möglichkeit, Gasphasenprozesse, Oberflächenprozesse und Materialeigenschaften in situ und parallel zueinander zu untersuchen. Dafür werden drei Geräte an einem Reaktor mit kontrollierter Atmosphäre zusammen kombiniert. Die absolut kalibrierte Messung der reaktiven und stabilen Plasmaprodukte wird mit Molekularstrahl-Massenspektrometrie durchgeführt. Die chemischen Bindungen im Material und an seiner Oberfläche, oder alternativ die Dichten von stabilen Molekülen in der Gasphase, werden mit in situ Fouriertransformations-Infrarotabsorptionspektroskopie detektiert. Die Größenverteilung und die Produktionsraten der generierten Nanoteilchen, die in vielen atmosphärischen Plasmaprozessen entstehen, werden mit einem Scanning Mobility Particle Sizer gemessen. Wichtig ist, dass alle dieser drei Methoden gleichzeitig an dem Plasma angewendet werden können, um die zeitlichen Änderungen und auch die begrenzte Reproduzierbarkeit, die diese Plasmen oft zeigen, untersuchen zu können. Neben ihrer Kombination können diese Geräte auch einzeln für die Diagnostik von anderen Plasmen benutzt werden.