Analysenanlage für Atmosphärendruckplasmen für Nanomaterialienherstellung

Atmosphärendruckplasmen bieten wegen der Nichtgleichgewichtsbedingungen, hoher Metastabilendichten and Stoßraten-dominierten Reaktionen eine neuartige Möglichkeit, nanomateralien oder Nanokristalle herzustellen。原位诊断：Atmosphärendruckprozessen原位诊断：1 .材料原位诊断：1 .原位诊断：1 .原位诊断：1 .原位诊断：1 .原位诊断：1 .原位诊断：1 .原位诊断：1 .原位诊断：1 .原位诊断：1 .原位诊断工厂工厂Großgerät bietet die Möglichkeit， Gasphasenprozesse， Oberflächenprozesse和Materialeigenschaften in situ and parallel zueinander zu intersuchen。dafr werden drei Geräte和einem Reaktor mit controllierter Atmosphäre zusammen kombiniert。【关键词】等离子体，等离子体，等离子体，等离子体，等离子体；Die chemischen Bindungen in Material und and seiner Oberfläche, der alternative Die Dichten von stabilen moleklen in der Gasphase， werden mit in situ傅里叶变换-红外吸收光谱检测器。Die Größenverteilung and Die producktionsraten der genergenererten Nanoteilchen, Die in vielen atmosphärischen Plasmaprozessen entstehen， werden mit扫描迁移率粒度仪gemessen。wichtiist, dass alle dieser drei Methoden gleichlichen and dem Plasma angewendet werden können, um die zeitlichen Änderungen and auch die begrezte ereduzierbarkeit, die diese Plasmen of zeigen, untersuchen zu können。Neben ihrer combination können diese Geräte auch einzeln f<e:1>诊断与诊断与诊断。

Atmosphärendruckplasmen bieten wegen der Nichtgleichgewichtsbedingungen, hoher Metastabilendichten und Stoßraten-dominierten Reaktionen eine neuartige Möglichkeit, Nanomaterialien oder Nanokristalle herzustellen. In situ Diagnostik von Atmosphärendruckprozessen ist allerdings aufwendig und viele Plasmaprozesse und Reaktionswege, die für das Wachstum des Materials/ der Nanoteilchen verantwortlich sind, sind noch nicht gut verstanden. Das geplante Großgerät bietet die Möglichkeit, Gasphasenprozesse, Oberflächenprozesse und Materialeigenschaften in situ und parallel zueinander zu untersuchen. Dafür werden drei Geräte an einem Reaktor mit kontrollierter Atmosphäre zusammen kombiniert. Die absolut kalibrierte Messung der reaktiven und stabilen Plasmaprodukte wird mit Molekularstrahl-Massenspektrometrie durchgeführt. Die chemischen Bindungen im Material und an seiner Oberfläche, oder alternativ die Dichten von stabilen Molekülen in der Gasphase, werden mit in situ Fouriertransformations-Infrarotabsorptionspektroskopie detektiert. Die Größenverteilung und die Produktionsraten der generierten Nanoteilchen, die in vielen atmosphärischen Plasmaprozessen entstehen, werden mit einem Scanning Mobility Particle Sizer gemessen. Wichtig ist, dass alle dieser drei Methoden gleichzeitig an dem Plasma angewendet werden können, um die zeitlichen Änderungen und auch die begrenzte Reproduzierbarkeit, die diese Plasmen oft zeigen, untersuchen zu können. Neben ihrer Kombination können diese Geräte auch einzeln für die Diagnostik von anderen Plasmen benutzt werden.