Development of nanometer-resolution laser processing using soft X-ray high-order harmonics
Development of nanometer-resolution laser processing using soft X-ray high-order harmonics
利用软 X 射线高次谐波开发纳米分辨率激光加工
批准号：
21K14053
负责人：
Hiroto Motoyama
金额：
$2.75万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
财政年份：
2021
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2021-04-01 至 2023-03-31
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Submicron structures created on metal thin films by submicron focusing of femtosecond EUV light pulses
通过飞秒 EUV 光脉冲的亚微米聚焦在金属薄膜上创建亚微米结构
通过飞秒 EUV 光脉冲的亚微米聚焦在金属薄膜上创建亚微米结构
DOI：
--
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
--
作者：
[A. Ansai, H. Motoyama, A. Iwasaki, H. Mimura, K. Yamanouchi]
通讯作者：
K. Yamanouchi
Submicron structures created on Ni thin film by submicron focusing of femtosecond EUV light pulses
通过飞秒 EUV 光脉冲的亚微米聚焦在镍薄膜上创建亚微米结构
通过飞秒 EUV 光脉冲的亚微米聚焦在镍薄膜上创建亚微米结构
DOI：
10.35848/1882-0786/acaebe
发表时间：
2023
期刊：
Applied Physics Express
影响因子：
2.3
作者：
[Motoyama Hiroto, Iwasaki Atsushi, Mimura Hidekazu, Yamanouchi Kaoru]
通讯作者：
Yamanouchi Kaoru
紫外光による半導体材料の微細加工
利用紫外光进行半导体材料的微加工
利用紫外光进行半导体材料的微加工
DOI：
--
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：