Röntgenbeugung Diffraktometer

X射线衍射仪

• 批准号: 405694402
• 金额: --
• 依托单位: Technische Universität Berlin
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2018
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2017-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/405694402?language=en
• 关键词: ntgenbeugung; Diffraktometer

Der Schwerpunkt unserer Forschungsarbeiten im Fachbereich „Technologie für Dünnschicht-Bauelemente“ (TFD) liegt auf der Erforschung und Entwicklung neuer Dünnschichtsysteme für Anwendungen in elektronischen und optoelektronischen Bauteilen. Die Erforschung innovativer Depositionsprozesse und neuer Materialien und Schichtsysteme gehen in dem 2012 neu gegründeten Fachbereich Hand in Hand. Die Analyse der materialwissenschaftlichen Probleme mit den Methoden der Dünnschicht-Charakterisierung ist hier von großer Bedeutung. Für die Schichtherstellung und anwendungsbezogene Tests sind wir bereits hinreichend gut aufgestellt, nicht jedoch für die materialwissenschaftliche Charakterisierung. Hier bietet die TU Unterstützung im Bereich der Mikroskopie (ZELMI), der chemischen Charakterisierung und im Bereich der Halbleiter-Charakterisierung, das äußerst wichtige Feld der Strukturuntersuchungen an Dünnschichtsystemen mittels Röntgenbeugung (XRD) ist jedoch nur aufwändig über externe Kooperationspartner zugänglich. Der Aufbau eines für dünne Schichten ausgelegten Röntgen-Diffraktometers ist von zentraler Wichtigkeit nicht nur für unsere Arbeit, sondern auch für thematisch benachbarte Fachgebiete.

Der Schwerpunkt unserer Forschungsarbeiten im Fachbereich“Technologie für Dünschicht-Bauelemente”（TFD）liegt auf der Erforschung und Entwicklung neuer Dünschichtsysteme für Anwendungen in elektronischen und optoelektronischen Bauteilen. Die Erforschung innovativer Depositionsprozesse und neuer Materialien und Schichtsysteme gehen in dem 2012 neu gegründeten Fachbereich Hand in Hand.用Dünschicht-Charakterisierung方法分析材料科学问题是一个重大的问题。Für die Schichtherstellung und anwendungsbezogene Tests sind wir bereits hinreichend gut aufgestellt，nicht jedoh für die materialwissenschaftliche Charakterisierung.在微晶体管（ZELMI）的化学特性和半导体特性的研究中，结构分析的费尔德（Feld）和Dünschichtsystemen mittels Röntgenbeugung（XRD）仅是外部合作伙伴。Der Aufbau eines für dünne Schichten ausgelegten Röntgen-Diffraktometers ist von zentraler Wichtigkeit nicht努尔für unsere Arbeit，sondern auch für thematisch benachbarte Fachgebiete.