Röntgenbeugung Diffraktometer

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Der Schwerpunkt unserer Forschungsarbeiten im Fachbereich „Technologie für Dünnschicht-Bauelemente“ (TFD) liegt auf der Erforschung und Entwicklung neuer Dünnschichtsysteme für Anwendungen in elektronischen und optoelektronischen Bauteilen. Die Erforschung innovativer Depositionsprozesse und neuer Materialien und Schichtsysteme gehen in dem 2012 neu gegründeten Fachbereich Hand in Hand. Die Analyse der materialwissenschaftlichen Probleme mit den Methoden der Dünnschicht-Charakterisierung ist hier von großer Bedeutung. Für die Schichtherstellung und anwendungsbezogene Tests sind wir bereits hinreichend gut aufgestellt, nicht jedoch für die materialwissenschaftliche Charakterisierung. Hier bietet die TU Unterstützung im Bereich der Mikroskopie (ZELMI), der chemischen Charakterisierung und im Bereich der Halbleiter-Charakterisierung, das äußerst wichtige Feld der Strukturuntersuchungen an Dünnschichtsystemen mittels Röntgenbeugung (XRD) ist jedoch nur aufwändig über externe Kooperationspartner zugänglich. Der Aufbau eines für dünne Schichten ausgelegten Röntgen-Diffraktometers ist von zentraler Wichtigkeit nicht nur für unsere Arbeit, sondern auch für thematisch benachbarte Fachgebiete.