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Study on calibration protocol for practically manufacturable MEMS heat flux sensor using thermal response

Study on calibration protocol for practically manufacturable MEMS heat flux sensor using thermal response
利用热响应对可实际制造的MEMS热通量传感器进行校准协议的研究
批准号：
23K13268
负责人：
鎌田 慎
金额：
$3.0万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
财政年份：
2023
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2023-04-01 至 2025-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-23K13268/
关键词：
熱流束MEMS金属基板薄膜測温抵抗体較正

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Development of monitoring technique for diffusion coefficient and its application to bio analysis platform
  • 批准号：
    17J04445
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.22万
  • 财政年份：
    2017
  • 负责人：
    鎌田 慎
  • 依托单位：
    Keio University
国内基金
海外基金
导航级MEMS陀螺能量损耗及其失配机理研究
  • 批准号：
    2026JJ50499
  • 项目类别：
    省市级项目
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    --
  • 批准年份：
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  • 项目类别：
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    --
  • 批准年份：
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  • 依托单位：
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面向MEMS重力仪的低频噪声抑制关键技术研究
  • 批准号：
    JCZRQNB202600477
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
  • 依托单位：
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  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    蔡先法
  • 依托单位：
    南京邮电大学