3D-Mikro-/Nanolithografiesystem auf Basis der Zwei-Photonen-Lithografie

基于双光子光刻的3D微纳光刻系统

• 批准号: 408925487
• 金额: --
• 依托单位: Justus-Liebig-Universität Gießen
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2018
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2017-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/408925487?language=en
• 关键词: 3D; Mikro; Nanolithografiesystem; auf; Basis

Das beantragte 3D-Mikro-/Nanolithografiesystem soll die vorhandenen Systeme zur planaren (2D-)Lithografie (Fotolithografie und Elektronenstrahllithografie) im Mikro-/Nanostrukturierungslabor MiNaLab des Zentrums für Materialforschung ZfM/LaMa der Justus-Liebig-Universität methodisch ergänzen. Das System soll für verschiedene, in den Forschungsbeiblättern einzeln dargelegte Forschungsvorhaben aus den Bereichen der Materialwissenschaften, Physik und Chemie genutzt werden. Die in den Beiblättern skizzierten, exemplarischen Forschungsthemen lassen sich entweder nicht mit planarer Lithografie im zeitlich vertretbaren Rahmen umsetzen oder gehen deutlich über das mit 2D-Techniken technisch Machbare hinaus. Die erfolgreiche Umsetzung der Forschungsvorhaben erfordert Spezifika der 3D-Lithografie zur Erzeugung von Strukturen in der dritten Dimension. Vorarbeiten, die von den Antragstellern an anderen Institutionen mit dem beantragten Gerät ähnlichen Systemen durchgeführt wurden, zeigen den signifikanten Mehrwert dieser Technik für die geplanten Forschungsaufgaben auf. Die intensive Weiterverfolgung dieser Forschungsaufgaben setzt den Zugang zu einem eigenen Gerät voraus. Ein geeigneter Aufstellungsort steht in den Räumen des MiNaLab zur Verfügung. Technisches Personal für Wartung und Betrieb des Gerätes werden durch das ZfM/LaMa gestellt, so dass ideale Voraussetzungen für die Nutzung des Gerätes im Forschungsbetrieb gegeben sind.

Das beantragte 3D-Mikro-/Nanolithografiesystem soll die vorhandenen Systeme zur planaren (2D-)Lithografie (Fotolithografie und Elektronenstrahllithografie) im Mikro-/Nanostrukturierungslabor MiNaLab des Zentrums für Materialforschung ZfM/LaMa der Justus-Liebig-Universität methodisch ergänzen。 Das System soll for verschiedene, in den Forschungsbeiblättern einzeln dargelegte Forschungsvorhaben aus den Bereichen der Materialwissenschaften, Physik und Chemie genutzt werden.在 Beiblättern Skizzierten 中死去，典型的研究主题是在 2D 技术机器上进行的平面光刻技术。 Die erfolgreiche Umsetzung der Forschungsvorhaben erfordert Spezifika der 3D-Lithografie zur Erzeugung von Strukturen in der dritten Dimension。首先，我们要介绍的是一个由各种机构和机构共同组成的系统，其中包括用于研究的技术。密集的Weiterverfolgung dieser Forschungsaufgaben setzt den Zugang zu einem eigenen Gerät voraus。在 MiNaLab zur Verfügung 的 Räumen 中进行操作。技术个人的技术和 Betrieb des Gerätes werden durch das ZfM/LaMa gestellt，所以 Dass 理想的 Voraussetzungen für die Nutzung des Gerätes im Forschungsbetrieb gegeben sind。