3D-Mikro-/Nanolithografiesystem auf Basis der Zwei-Photonen-Lithografie

基于双光子光刻的3D微纳光刻系统

• 批准号: 408925487
• 金额: --
• 依托单位: Justus-Liebig-Universität Gießen
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2018
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2017-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/408925487?language=en
• 关键词: 3D; Mikro; Nanolithografiesystem; auf; Basis

Das beantragte 3D-Mikro-/Nanolithografiesystem soll die vorhandenen Systeme zur planaren (2D-)Lithografie (Fotolithografie und Elektronenstrahllithografie) im Mikro-/Nanostrukturierungslabor MiNaLab des Zentrums für Materialforschung ZfM/LaMa der Justus-Liebig-Universität methodisch ergänzen. Das System soll für verschiedene, in den Forschungsbeiblättern einzeln dargelegte Forschungsvorhaben aus den Bereichen der Materialwissenschaften, Physik und Chemie genutzt werden. Die in den Beiblättern skizzierten, exemplarischen Forschungsthemen lassen sich entweder nicht mit planarer Lithografie im zeitlich vertretbaren Rahmen umsetzen oder gehen deutlich über das mit 2D-Techniken technisch Machbare hinaus. Die erfolgreiche Umsetzung der Forschungsvorhaben erfordert Spezifika der 3D-Lithografie zur Erzeugung von Strukturen in der dritten Dimension. Vorarbeiten, die von den Antragstellern an anderen Institutionen mit dem beantragten Gerät ähnlichen Systemen durchgeführt wurden, zeigen den signifikanten Mehrwert dieser Technik für die geplanten Forschungsaufgaben auf. Die intensive Weiterverfolgung dieser Forschungsaufgaben setzt den Zugang zu einem eigenen Gerät voraus. Ein geeigneter Aufstellungsort steht in den Räumen des MiNaLab zur Verfügung. Technisches Personal für Wartung und Betrieb des Gerätes werden durch das ZfM/LaMa gestellt, so dass ideale Voraussetzungen für die Nutzung des Gerätes im Forschungsbetrieb gegeben sind.

3D-Mikro-/Nanolithografiesystem soll die vorhandenen Systeme zur planaren（2D-）Lithografie（Fotolithografie und Elektronenstrahlithografie）im Mikro-/Nanostrukturierungslabor MiNaLab des Zentrums für Materialforschung ZfM/LaMa der Justus-Liebig-Universität methodisch ergänzen.该系统是一个基于韦尔登的材料科学研究体系。在北京，典型的研究者们并没有使用平面光刻技术来测量物体的几何形状，也没有使用二维技术来测量物体的几何形状。研究者的实验室研究主要集中在三维光刻技术中的结构尺寸测量。Vorarbeiten，die von den Antragstellern an anderen Institutionen mit dem beantragten Gerät ähnlichen Systemen durchgeführt wurden，zeigen den signifikanten Mehrwert dieser Technik für die geplanten Forschungsaufgaben auf.密集的Weiterverfolgung dieser Forschungsaufgaben setzt den Zugang zu einem eigenen Gerät voraus.在MiNaLab实验室的通风系统中有一个通风口。Technisches Personal für Wartung und Betrieb des Gerätes韦尔登durch das ZfM/LaMa gestellt，so dass ideale Voraussetzungen für die Nutzung des Gerätes im Forschungsbetrieb geben sind.