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3D-Mikro-/Nanolithografiesystem auf Basis der Zwei-Photonen-Lithografie

基于双光子光刻的3D微纳光刻系统

基本信息

批准号：
408925487
负责人：
金额：
--
依托单位：
Justus-Liebig-Universität Gießen
依托单位国家：
德国
项目类别：
Major Research Instrumentation
财政年份：
2018
资助国家：
德国
起止时间：
2017-12-31 至无数据
项目状态：
未结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/408925487?language=en
关键词：
3D Mikro Nanolithografiesystem auf Basis

项目摘要

Das beantragte 3D-Mikro-/Nanolithografiesystem soll die vorhandenen Systeme zur planaren (2D-)Lithografie (Fotolithografie und Elektronenstrahllithografie) im Mikro-/Nanostrukturierungslabor MiNaLab des Zentrums für Materialforschung ZfM/LaMa der Justus-Liebig-Universität methodisch ergänzen. Das System soll für verschiedene, in den Forschungsbeiblättern einzeln dargelegte Forschungsvorhaben aus den Bereichen der Materialwissenschaften, Physik und Chemie genutzt werden. Die in den Beiblättern skizzierten, exemplarischen Forschungsthemen lassen sich entweder nicht mit planarer Lithografie im zeitlich vertretbaren Rahmen umsetzen oder gehen deutlich über das mit 2D-Techniken technisch Machbare hinaus. Die erfolgreiche Umsetzung der Forschungsvorhaben erfordert Spezifika der 3D-Lithografie zur Erzeugung von Strukturen in der dritten Dimension. Vorarbeiten, die von den Antragstellern an anderen Institutionen mit dem beantragten Gerät ähnlichen Systemen durchgeführt wurden, zeigen den signifikanten Mehrwert dieser Technik für die geplanten Forschungsaufgaben auf. Die intensive Weiterverfolgung dieser Forschungsaufgaben setzt den Zugang zu einem eigenen Gerät voraus. Ein geeigneter Aufstellungsort steht in den Räumen des MiNaLab zur Verfügung. Technisches Personal für Wartung und Betrieb des Gerätes werden durch das ZfM/LaMa gestellt, so dass ideale Voraussetzungen für die Nutzung des Gerätes im Forschungsbetrieb gegeben sind.

3D-Mikro-/Nanolithografiessystem soll die vhandenen Systeme zur Planaren(2D-)Lithografie(Fotolithografie And Elektronenstrahlstrahllitografie)in Mikro-/Nanostrukturierungslabor MiNaLab des Zentrum für Materialforschung ZFM/Lama der Justus-LieBig-University方法。在材料、物理和化学的感觉上，这是一种新的方法。死在北莱特丹的书架上，是一种典型的科学技术，它是一种新型的技术手段。在Dritten维度中，3D-Lithografie Zur Erzeugung von Strukturen的3D-Lithografie Zur Erzeugung von Strukturen。Vorarbeiten，die von den Antangstellern an Anderen Institutionen MIT DEM Beantragten Gerätähnlichen Systemes dchgefüHRT Wurden，zeigen den signifikanten Mehrwert dieser Technik für die geants en Forschungsofgaben auf.高强度的魏特维夫加班柴油发动机将会给我们带来更多的好处。Ein geeigneter Aufstellungsorty steht in den Räumen des MiNaLab zur Verfügung.技术是个人的保证金和更高的工资，所以我的理想是从现在开始到现在。