3D-Mikro-/Nanolithografiesystem auf Basis der Zwei-Photonen-Lithografie

基于双光子光刻的3D微纳光刻系统

• 批准号: 408925487
• 金额: --
• 依托单位: Justus-Liebig-Universität Gießen
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2018
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2017-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/408925487?language=en
• 关键词: 3D; Mikro; Nanolithografiesystem; auf; Basis

Das beantragte 3D-Mikro-/Nanolithografiesystem soll die vorhandenen Systeme zur planaren (2D-)Lithografie (Fotolithografie und Elektronenstrahllithografie) im Mikro-/Nanostrukturierungslabor MiNaLab des Zentrums für Materialforschung ZfM/LaMa der Justus-Liebig-Universität methodisch ergänzen. Das System soll für verschiedene, in den Forschungsbeiblättern einzeln dargelegte Forschungsvorhaben aus den Bereichen der Materialwissenschaften, Physik und Chemie genutzt werden. Die in den Beiblättern skizzierten, exemplarischen Forschungsthemen lassen sich entweder nicht mit planarer Lithografie im zeitlich vertretbaren Rahmen umsetzen oder gehen deutlich über das mit 2D-Techniken technisch Machbare hinaus. Die erfolgreiche Umsetzung der Forschungsvorhaben erfordert Spezifika der 3D-Lithografie zur Erzeugung von Strukturen in der dritten Dimension. Vorarbeiten, die von den Antragstellern an anderen Institutionen mit dem beantragten Gerät ähnlichen Systemen durchgeführt wurden, zeigen den signifikanten Mehrwert dieser Technik für die geplanten Forschungsaufgaben auf. Die intensive Weiterverfolgung dieser Forschungsaufgaben setzt den Zugang zu einem eigenen Gerät voraus. Ein geeigneter Aufstellungsort steht in den Räumen des MiNaLab zur Verfügung. Technisches Personal für Wartung und Betrieb des Gerätes werden durch das ZfM/LaMa gestellt, so dass ideale Voraussetzungen für die Nutzung des Gerätes im Forschungsbetrieb gegeben sind.

Das beantragte 3D-Mikro-/Nanolithografiesystem soll die vorhandenenen Systeme zur planaren (2D-)Lithografie (Fotolithografie und Elektronenstrahllithografie) im Mikro-/Nanostrukturierungslabor MiNaLab des centrums fr Materialforschung ZfM/LaMa der Justus-Liebig-Universität methodisch ergänzen。[1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]死在窝Beiblattern skizzierten, exemplarischen Forschungsthemen拉森西奇entweder不麻省理工学院平面Lithografie im zeitlich vertretbaren车架umsetzen奥得河到deutlich uber das麻省理工学院2 d-techniken technisch Machbare hinaus。三维光刻技术在三维平面上的应用。德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国。模具密集Weiterverfolgung dieser Forschungsaufgaben setzzang zu einem eigenen Gerät voraus。在地质构造学上，研究方向为：Räumen des MiNaLab zur verfgung。Technisches Personal fgr Wartung und Betrieb des Gerätes werden durch das ZfM/LaMa gestellt, so pass ideale Voraussetzungen fgr die Nutzung des Gerätes im Forschungsbetrieb gegeben sind。