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Laserlithographiesystem zur dreidimensionalen additiven Mikro- und Nanofertigung

用于三维增材微纳制造的激光光刻系统

基本信息

批准号：
384724422
负责人：
金额：
--
依托单位：
Universität Münster
依托单位国家：
德国
项目类别：
Major Research Instrumentation
财政年份：
2017
资助国家：
德国
起止时间：
2016-12-31 至无数据
项目状态：
未结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/384724422?language=en
关键词：
Laserlithographiesystem zur dreidimensionalen additiven Mikro

项目摘要

Für geplante Forschungsarbeiten im Bereich der Nano- und Quantenphotonik, der Zellmechanik und für die Realisierung neuartiger Template für Zellkulturen ist ein Laserlithographiesystem (LLS) zur Herstellung dreidimensionaler Mikro- und Nanostrukturen erforderlich. Das LLS soll für interdisziplinäre Arbeiten in den Fachbereichen Physik, Biologie, und Medizin eingesetzt werden und die bestehenden Möglichkeiten zur planaren Lithographie in die dritte Dimension erweitern. Im Rahmen der Neuberufung von Prof. W. Pernice und dem strategischen Ausbau der Nanowissenschaften an der Universität Münster soll das LLS beschafft werden, um die Arbeitsfähigkeit der Gruppe zu gewährleisten und den Schwerpunkt Nanophysik zu stärken. Insbesondere für die geplanten Arbeiten im Bereich der Nanophotonik ist eine räumliche Auflösung unterhalb von einem Mikrometer essentiell, sowie eine hohe Schreibgeschwindigkeit um auch makroskopische Strukturen mit feinen Abmessungen realisieren zu können. Momentan ist an der WWU kein vergleichbares Gerät verfügbar so dass bisher nur planare Nanostrukturen großflächig herstellbar sind. Mittels des LLS sollen insbesondere hybride Systeme realisiert werden, die Nanostrukturen auf mehreren Substraten zu komplexen Systemen kombinieren. Darüber hinaus ist es ein zentrales Anliegen durch dreidimensionale Nanostrukturen neue Forschungsfelder im Bereich der weichen Nanowissenschaften über die Fachbereichsgrenzen hinaus zu erschließen. Das Neugerät soll im Betrieb innerhalb des Reinraums des Zentrums für Nanotechnologie (CeNTech) einem breiten Nutzerkreis zugänglich gemacht werden.

Für geplante Sarbeiten im Bereich der Nano- und Quantenphotonik, der Zellmechanik und für die Realisierung neuartiger Template for Zellkulturen ist ein Laserlithographiesystem (LLS) zur Herstellung dreiDimensioner Mikro- und Nanostrukturen erforderlich. LLS 是在物理、生物学和医学领域的交叉学科，它是在维度方向上进行平面印刷的最佳方法。我是 W. Pernice 教授的 Neuberufung 教授，他是明斯特大学纳米科学研究院的战略顾问，是法学硕士，是我们的研究小组的工作人员和纳米物理学研究组的工作人员。纳米光子技术中的纳米光子技术的应用是一个重要的细节，它是微型测量仪的重要组成部分，因此它是一种理想的结构设计，可以实现理想的结构科南。 Momentan ist an der WWU kein vergleichbares Gerät verfügbar so dass bisher nur planare Nanostrukturen großflächig herstellbar sind. Mittels des LLS sollen insbesondere Hybride Systeme realisiert werden, die Nanostrukturen auf mehreren Substraten zu komplexen Systemen kombinieren. Darüber hinaus ist es ein zentrales Anliegen durch dreiDimensione Nanostrukturen neue Forschungsfelder im Bereich der weichen Nanowissenschaften über die Fachbereichsgrenzen hinaus zu erschließen. Das Neugerät soll im Betrieb insidehalb des Reinraums des Zentrums des Zentrums für Nanotechnologie (CeNTech) einem breiten Nutzerkreis zugänglich gemacht werden。