低温形成ナノ結晶酸化亜鉛を用いた直接描画半導体線状構造体の作製方法に関する研究

低温成型纳米晶氧化锌直写半导体线性结构制备方法研究

• 批准号: 26918009
• 负责人: 佐々木 匠
• 金额: $ 0.38万
• 依托单位: Sendai National College of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
• 财政年份: 2014
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2014-04-01 至 2015-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-26918009/
• 关键词: 酸化亜鉛; ナノ結晶

本申請では、酸化亜鉛(ZnO)ナノ材料を利用した3D構造を構築する最終目標を見据えて、この材料を用いた半導体形成物を試作することを目的とし、研究をおこなった。その成果について下記の通り報告する。1. 高品質なアセチルアセトン亜鉛(Zn(acac)_2)錯体について、本校所有の実験装置を用いて、原材料の工業用アセチルアセトン亜鉛錯体を昇華・再結晶化させることにより130℃以下の低温プロセスで準備した。2. 無機材料のナノ結晶ZnOについて、本校所有の実験装置を用いて有機物であるZn(acac)_2を130℃の水蒸気中で熱水分解することにより作製した。3. 上記1, 2の工程について、X線回析装置により評価をおこない本研究の材料としての仕様を満たす材料であることを確認した。4. 上記1の工程で準備したZn(acac)_2を水とエタノールの溶液に混ぜ、超音波により微細化をおこない沈殿法で結晶粒径を整えた懸濁液を準備した。この懸濁液を①ガラス基板に塗布②2の工程をおこなう、を繰り返すことによりナノ結晶ZnOの3D構造の現実可能性を探索した。この工程において懸濁液を均一かつ極力薄くガラス基板へ塗布する必要がある。本申請では塗布方法としてスピンコーターの遠心力により懸濁液をガラス基板へ塗布させる方法を用いたが、均一な塗布が難しく線状構造体の形成をするに至っておらず、評価ができていない。5. 上記4の工程に併せ本申請で購入した直動XYステージとステッピングモータコントローラおよび制御用ソフトウェアを用いて、基板上に自由な形を描画できる装置の検討と試作をおこなった。現段階ではXYステージを動かす程度に留まっている。6. 本申請の研究計画ではナノ結晶ZnO線状構造体の組成と結晶性の評価までを目標としていたが、現段階ではそこまでに至っていない。本申請の今後として、直動XYステージに送液ポンプを取り付けた描画装置を完成させると共に、3D構造の実現に寄与できるかについて、研究を続けていきたい。

In this application, acidizing and acidizing (ZnO) materials are used to create the most important target labels of the materials, and the semi-solid formations are used for the purpose and research of the materials. Please review the results and report the results. 1. High-quality equipment equipment (Zn (acac) _ 2), all equipment used in our school, and industrial equipment used in raw materials. The equipment used in raw materials industry is not suitable for crystallization. two。 The equipment of our school uses the organic compound Zn (acac) _ 2 to decompose the waste water in the water vapor at 130 ℃. The ZnO equipment is used as the equipment for testing. 3. In the first two years of the project, the X-ray analysis device and the X-ray analysis device were used in this study. 4. In the first part of the project, Zn (acac) _ 2 was prepared to prepare the solution for mixing, ultrasound, microsurgery, and sedimentation, and the grain size was prepared. In order to improve the performance of the project, the results show that the possibility of ZnO 3D production is better. In the project, the liquid is uniform, the force is thin, the substrate is covered, the cloth is necessary. In this application, the distribution method is used to determine the mechanical properties of the substrate, the substrate and the substrate. 5. In the last 4 years of the project, this application applies to the direct operation of the XY system, the device on the substrate, the device, the device. The segment does not XY the level of action. 6. This application is based on the research plan. The structure of the ZnO crystal structure is composed of the crystal structure. The system is designed to form the crystal structure. This application is intended to be completed in the future, through the direct operation of the XY system for liquid delivery, the completion of the drawing device, the establishment of a 3D system, and the research and development of the system.