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超高密度反応性プラズマ法による窒化ホウ素ナノ結晶集合体構造の信頼性物理の研究

超高密度反応性プラズマ法による窒化ホウ素ナノ結晶集合体構造の信頼性物理の研究
超高密度反应等离子体法氮化硼纳米晶聚集体结构可靠性物理研究
批准号：
23H01728
负责人：
江利口 浩二
金额：
$12.31万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2023
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2023-04-01 至 2026-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-23H01728/
关键词：
窒化ホウ素高密度プラズマトンネルリーク電流

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超高密度反応性プラズマ法による窒化ホウ素ナノ結晶集合体構造の信頼性物理の研究
  • 批准号：
    23K26421
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $4.74万
  • 财政年份：
    2024
  • 负责人：
    江利口 浩二
  • 依托单位：
    Kyoto University
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