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高密度記録用ジルコニア分離CoPtグラニュラー薄膜

用于高密度记录的氧化锆分离 CoPt 颗粒薄膜

基本信息

批准号：
11750252
负责人：
柿崎浩一
金额：
$ 1.41万
依托单位：
Saitama University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1999
资助国家：
日本
起止时间：
1999 至 2000
项目状态：
已结题

项目摘要

磁気記録媒体の高密度化のためには、とくに信号出力/ノイズ比(S/N比)の向上が重要であり、記録媒体の高保磁力化、媒体構成粒子の微細化および媒体ノイズの低減が必須になる。媒体ノイズの主因は媒体を構成している磁性結晶粒子間に働く磁気的交換相互作用である。従って、磁性金属微粒子が非磁性マトリックス中に分散し、完全に孤立化することにより、磁気的相互作用が低減されるグラニュラー磁性薄膜は、低ノイズ媒体として有望である。本研究においては、まず20Gbit/siを目標として実験を行い、薄膜の構造は低ノイズ媒体として有望であるグラニュラー構造を選択し、グラニュラー磁性薄膜を作製し、その磁気特性を検討し、高密度磁気記録媒体としての可能性を検討した。また、20Gbit/si以上の高密度磁気記録媒体には、上記の条件を満たし、より大きな磁気異方性が必要となる。そこで、CoPt薄膜にCuを添加し、結晶構造および磁気特性に及ぼす効果を検討した。まず初めに、CoPt-ZrO_2グラニュラー薄膜について熱処理温度、ZrO_2体積率および膜厚が磁気特性に及ぼす影響について検討した。作製した膜ではZrO_2はアモルファス状であり、CoPt粒子は結晶化していた。微細構造の観察の結果、as-depo.膜では3〜5nmのアモルファス粒子がZrO_2マトリックス中に分散しており、500℃で熱処理した膜では、5〜8nmの結晶粒子がZrO_2マトリックス中に分散していることが確認された。膜厚が20nm、ZrO_2含有率48vol.%、Ta=500℃の薄膜の、保磁力は3500Oeとなった。保磁力増大の原因として、ZrO_2によりCoPt粒子が分離されたこと、CoPt粒子が微細化されたこと、CoPt粒子とZrO_2の表面間歪みの影響、などが考えられ、これらについての解析を行った。次に、CoPt-ZrO_2グラニュラー薄膜にCuを添加し、熱処理温度の低温化および磁気異方性の付与を目的とし、CoPtCu-ZrO_2グラニュラー薄膜を作製した。その結果、面内保磁力が垂直保磁力より大きな試料を作製できた。Cuの添加効果を調べるためにCoPtCu薄膜を用いて比較検討した。その結果Cu添加率Cu/Co=0.96付近において(002)面に結晶配向することを確認した。

The importance of increasing the density of magnetic recording media and the signal output/noise ratio (S/N ratio) are increasingあり, the recording medium's high magnetic coercivity and the miniaturization of the media's constituent particles are necessary for the media's reduction. The main factor of media is the exchange interaction between magnetic crystal particles and the composition of media.従って, non-magnetic metal particles, non-magnetic material, dispersed, completely isolated, etc. , the interaction between magnetism and magnetism is reduced, the magnetic thin film is reduced, and the low-magnetic media is expected to be reduced. This research is aimed at 20Gbit/si and the structure of the thin film is low and the media is promising.ラー structure を selection し, グラニュラー magnetic film を production し, その magnetic 気 characteristics を検し, high-density magnetic 気 recording medium としての possibility を検した. It is a high-density magnetic recording medium of 20Gbit/si or above, the conditions mentioned above are not necessary, and the large magnetic anisotropy is necessary.そこで、CoPt film にCu addition し、crystal structure およびmagnetic properties に and ぼす effect を検した. Heat treatment temperature of まず初めに、CoPt-ZrO_2グラニュラー film について, ZrO_2 volume ratio, film thickness, magnetic properties, and influence. ZrO_2 ZrO_2 film is produced in the shape of a film, and CoPt particles are crystallized. The result of microstructure inspection, as-depo. Membrane 3~5nm particle size ZrO_2 マトリックス中しており, 500℃ heat treatment, した film では, 5~8nm のcrystalline particles がZrO_2 マトリックス中にdispersion していることが confirmation された. The film thickness is 20nm, the ZrO_2 content is 48vol.%, the film is Ta=500℃, and the coercive force is 3500Oe. Reasons for the increase in coercive force: separation of ZrO_2 CoPt particles; miniaturization of CoPt particlesこと, CoPt particle and ZrO_2 surface distortion effect, などが卡えられ, これらについてのanalytic を行った. Second, CoPt-ZrO_2 グラニュラー thin film, Cu addition, heat treatment temperature, low temperature, The purpose of imparting magnetic anisotropy and the production of CoPtCu-ZrO_2 acrylic thin films. The result, the in-plane coercive force and the vertical coercive force were determined by the test specimen. The effect of adding Cu is better than that of CoPtCu films. As a result, the Cu addition rate Cu/Co=0.96 was confirmed by the crystal alignment of the surface (002).