窒化物半導体量子井戸構造の光学遷移過程における励起子局在効果の研究

氮化物半导体量子阱结构光跃迁过程中激子局域化效应研究

• 批准号: 11750268
• 负责人: 秩父 重英
• 金额: $ 1.22万
• 依托单位: University of Tsukuba
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1999 至 2000
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-11750268/
• 关键词: 窒化物半導体; 立方晶窒化物; InGaN混晶; 組成不均一性; 局在励起子; 量子井戸; フォトルミネッセンス(PL); 時間分解PL; フォトルミネッセンス; MBE

1.有機金属化学気相エピタキシー(MOVPE)および分子線エピタキシー(MBE)法による立方晶InGaN成長MBEではRFプラズマ源を用いて3C-SiC/Si基板上に立方晶GaNを成長させ、それをバッファとして立方晶InGaN及びInGaN/GaN量子井戸構造を成長した。MOVPE装置の立ち上げ作業も終焉を迎えた。得られたInGaN膜および量子井戸は下地のGaNのコヒーレントに成長していることが確認され、歪InGaN層のInNモル分率は最大20%近くまでを制御して成長できた。しかしながら組成の不均一性は大きかった。フォトルミネッセンス(PL)発光スペクトルは、InNモル分率の増加に伴ない紫外域から純青・緑色領域を越して黄緑色程度まで及んだ。2.フォトルミネッセンス・フォトリフレクタンス・時間分解フォトルミネッセンス等の光学的物性評価PLスペクトルとPL励起スペクトルから、InNモル分率の増加に伴ない有効バンドギャップ不均一性も増大することが確認された。そのストークスシフト量は六方晶のそれに匹敵ないしはそれより大きい。立方晶構造では六方晶構造で問題とされる圧電電場による電子-正孔の波動関数の重なりの減少は無い。したがって、これらの結果から励起子が局在している事が伺える。時間分解PL測定からも、強い局在を示す、検出波長の増加にともなう再結合寿命の増加が見られた。立方晶材料六方晶材料に比べ非発光再結合が強いが、温度の増加にともなう非発光再結合寿命の減少自体は顕著ではなかった。六方晶InGaN量子井戸において空間分解カソードルミネッセンス測定から数十nm以下のスケールでの組成変調が認められており、拡散長を短くしてキャリアを局在させ、発光効率の増大に寄与したものと考えている。バルクInGaNでも量子井戸でも局在は観測されており、励起子の局在はInGaN材料におけるユニバーサルな現象といえる。

Phase 1. Organometallic chemistry 気 エ ピ タ キ シ ー (MOVPE) お よ び molecular line エ ピ タ キ シ ー method (MBE) に よ る cubic InGaN MBE growth で は RF プ ラ ズ マ source を with い て 3 c - SiC/Si substrate に cubic GaN を growth さ せ, そ れ を バ ッ フ ァ と し て cubic InGaN and び InGaN /GaN quantum edo structure を growth た. The MOVPE device <s:1> stands on ち to complete the げ operation <e:1> and を welcomes えた. Have ら れ た InGaN membrane お よ び quantum well opens は fields の GaN の コ ヒ ー レ ン ト に growth し て い る こ と が confirm さ れ, slanting InGaN layer の InN モ ル points は maximum 20% nearly く ま で を suppression し て growth で き た. The <s:1> ながら ながら constitutes <s:1> non-homogeneity ながら is large ながら った った った った. フ ォ ト ル ミ ネ ッ セ ン ス (PL) 発 light ス ペ ク ト ル は, InN モ ル fraction の raised plus に with な い purple outland か ら を is pure green, green field し て yellow-green degree ま で and ん だ. 2. フ ォ ト ル ミ ネ ッ セ ン ス · フ ォ ト リ フ レ ク タ ン ス · time breakdown フ ォ ト ル ミ ネ ッ セ ン ス の optical properties such as evaluation of 価 PL ス ペ ク ト ル と PL wound up ス ペ ク ト ル か ら, InN モ ル fraction の raised plus に with な い have sharper バ ン ド ギ ャ ッ プ uneven も raised a sex す る こ と が confirm さ れ た. The amount of スト hexagonal crystal <e:1> それに is as large as that of な そ スト スト スシフト それよ それよ それよ それよ それよ それよ それよ それよ それよ そ な. Cubic crystal structure で で hexagonal crystal structure で problem とされる electrovoltage electric field による electron-positive pore <s:1> fluctuation threshold number <s:1> weight な reduction <s:1> no で. The results of the たがって たがって, る れら, れら, が are ら. The が bureau is at the が て, る, る, が and える. The time decomposition PL determination す ら <e:1>, the strong <s:1> bureau shows す in を, the 検 wavelength <s:1> increases にと なう なう なう, and combined with the lifetime <s:1> increases が, it shows られた. Cubic material hexagonal に stronger than べ non 発 light combining が い が, temperature の raised に と も な う non 発 light combining life の reduce autogenous は 顕 the で は な か っ た. Hexagonal InGaN quantum well opens に お い て space decomposition カ ソ ー ド ル ミ ネ ッ セ ン ス determination か ら tens of nm below の ス ケ ー ル で の composition - adjustable が recognize め ら れ て お り, short company, taking long を く し て キ ャ リ ア を bureau in さ せ, の 発 light working rate raised large に send with し た も の と exam え て い る. バ ル ク InGaN で も quantum well opens で も bureau in は 観 measuring さ れ て お り, excitation screwdriver の bureau in は InGaN material に お け る ユ ニ バ ー サ ル な phenomenon と い え る.

项目成果

出口隆弘、宗田孝之、秩父重英 他: "Optical properties of an InGaN active layer in ultraviolet light emitting diodes"Japanese Journal of Applied Physics. 38巻9B号. L975-L977 (1999)

Takahiro Deguchi、Takayuki Muneta、Shigehide Chichibu 等人：“紫外发光二极管中 InGaN 活性层的光学特性”，日本应用物理学杂志，第 38 卷，第 9B 期（1999 年）。

秩父重英,和田一実,中村修二 他: "Evidence of localization effects in InGaN single-quantum-well ultraviolet LEDs"Applied Physics Letters. 76巻. 1671-1673 (2000)

Shigehide Chichibu、Kazumi Wada、Shuji Nakamura 等人：“InGaN 单量子阱紫外 LED 中的局域化效应的证据”应用物理快报 76. 1671-1673 (2000)。

秩父重英、和田一実、中村修二 他: "Evidence of localization effects in InGaN single-wuantum-well ultraviolet LEDs"Applied Physics Letters. 76巻(3/20掲載予定). (2000)

Shigehide Chichibu、Kazumi Wada、Shuji Nakamura 等人：“InGaN 单钨阱紫外 LED 中的局域化效应的证据”《应用物理快报》第 76 卷（计划于 3 月 20 日出版）。

秩父重英、中西久幸、宗田孝之 他: "Comparison of optical properties in GaN/AlGaN and InGaN/AlGaN single quantum wells"Japanese Journal of Applied Physics. 39巻4号(4/15掲載予定). (2000)

Shigehide Chichibu、Hisayuki Nakanishi、Takayuki Muneta 等人：“GaN/AlGaN 和 InGaN/AlGaN 单量子阱的光学特性比较”，日本应用物理学杂志，第 39 卷，第 4 期（预定于 4 月 15 日出版） ）（2000）。

秩父重英,小豆畑敬,向井隆 他: "Localized quantum-well excitons in InGaN single-quantum-well amber light emitting diodes"Journal of Applied Physics. 88巻9号. 5153-5157 (2000)

Shigehide Chichibu、Takashi Azukihata、Takashi Mukai 等人：“InGaN 单量子阱琥珀色发光二极管中的局域量子阱激子”应用物理学杂志，第 88 卷，第 9 期。5153-5157 (2000)