水とエキシマレーザーを用いた合成石英ガラスの研磨

使用水和准分子激光抛光合成石英玻璃

• 批准号: 14655028
• 负责人: 村原 正隆
• 金额: $ 1.98万
• 依托单位: Tokai University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 2002
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2002 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-14655028/
• 关键词: エキシマレーザー; フッ素樹脂; 水; 石英ガラス; フッ酸; 研磨; 数値制御; エッチング

被加工物より硬い微粒粉などの研磨剤は一切使わず、水と紫外線レーザーの光化学的性質およびパルス性を用い、テフロンと水との光化学反応で生成した弗化水素水により、光学部品の被加工面をエッチングすると同時に、光学部品と接触してスライドしているテフロンにより研磨を行い、研磨の最適条件を特定した。本方法をPCP(Photo Chemical Polishing)加工と命名した。本年度特に特筆すべき点は、中古フライス盤を購入し、これを改造して研磨装置を試作した結果、従来の面接触研磨法を打破し、新たに点接触研磨法を打ち出したことが最大の成果である。1)研磨剤としてのフッ酸生成2mm間隔の金電極を蒸着した石英板とフッ素樹脂板との間隙に水を挟み、そこにArFエキシマレーザー光をパルス照射して、光化学反応によって生成されたフッ酸濃度をホイストンブリッジを用いて高精度測定を行った。その結果フッ素樹脂としてFEPを用いれば、レーザーエネルギー密度20〜50mJ/cm^2で効率よくフッ酸が生成し、レーザー光1パルスで0.1オングストロング深さのエッチングがなされることがわかった。この成果は2002年12月オーランドで開催された2nd Polymer Compositesに於いて招待講演を行った。2)研磨装置の試作中古縦型フライス盤を購入し、ドリル部分を改良し、ドリル軸受けからレーザー光線を入射し、ドリルチャックに取り付けたフッ素樹脂板を水を介して被研磨材料に密着させながら、フッ素樹脂板を回転させると同時に、被研磨板をX-Y走査する研磨装置を試作した。X-Y走査はコンピュータ制御によるため、制御プログラムを製作中である。このX-Y走査にフッ素樹脂板の回転軸(Z軸)を同時制御することによって、平面や球面は勿論のこと非球面も研磨できることが可能であると考える。このため平成15年度の科研費(基盤研究(B))に『水とエキシマレーザーを用いた非球面ミラーの研磨』と題して申請し、今後も本研究を実用化に向けて行っていく所存である。

没有使用比工件更难的磨料，并且使用了水和紫外线激光器的光化学特性和脉冲特性来蚀刻光学成分的表面，该表面是由氟化氢生成的氟化氟化物，由Teflon和Teflon和Teflon之间的光化学反应，使用Teflon，以及使用Teflon之间的pol poldical poldice portigem nigements nigements nigements nigem nigem nigements nike sne nide snitige nike sne nige snectimens。该方法命名为PCP（照片化学抛光）处理。今年最值得注意的是，我们购买了一台二手铣床，对其进行了修改并生产了原型抛光设备，该设备击败了传统的表面接触式抛光方法，并推出了一种新的点接触式抛光方法。 1）通过将水放在石英板和荧光素板之间的间隙中，形成水氟酸作为磨料形成，它们已经用它们之间的金电极沉积了，它们之间的间隔为2mm，荧光素板和荧光素板，以及使用ARF进取的激光器的浓度介绍了供电的浓度，并辐射了供电的光化，以释放水平酸化，并取代了供电的酸化，并取得了水平酸的浓度。 测量。结果，发现当将FEP用作荧光素时，可以在20至50 MJ/cm^2的激光能量密度下有效地产生氢氟酸，并在0.1焦虑的深度进行蚀刻，并具有一种激光光的脉冲。该结果是在2002年12月在奥兰多举行的第二个聚合物复合材料上的邀请演讲。2）我们购买了一台使用的垂直铣床，一种原型抛光装置，改进了钻头，并创建了一个原型抛光装置，并创建了一个将荧光素板旋转的原型抛光设备，并在射击板上旋转弹药板，然后在钻机上插入钻机，然后插入钻机，并插入钻机，并插入钻机，并构成轴承，并插入钻机，并构成轴承，并在钻机上插入轴承，并构成轴承的轴承，并构成轴承的轴承，并构成轴承的轴承，并将其固定在轴承上。通过水抛光。由于X-Y扫描由计算机控制，因此目前正在生产控制程序。通过在此X-Y扫描期间同时控制荧光素板的旋转轴（Z轴），人们认为不仅可以抛光平坦的表面和球形表面，还可以抛光球形表面。因此，我们向2003年科学研究基金（基础研究（B））申请了“使用水和准分子激光器的抛光非球面镜子”的标题，我们打算将来继续实施这项研究。