真空紫外高輝度発光ダイオードを用いた画像計測システム

采用真空紫外高亮度发光二极管的图像测量系统

• 批准号: 17656027
• 负责人: 猿倉 信彦
• 金额: $ 1.92万
• 依托单位: Osaka University (2006-2007)Institute for Molecular Science (2005)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2005 至 2007
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-17656027/
• 关键词: 光源技術; 半導体物性; 画像計測; 真空紫外; 発光ダイオード; 真空紫外領域; 高輝度光源

平成19年度は、新たに製作した真空紫外分光器と、同領域の画像計測システムを用いて、各種結晶成長手法で作製した結晶の光励起発光を観測した。測定には、マイクロ引下げ法で作製されたフッ化物結晶(Ce:LiCAF、Nd:LaBaFなど)や、水熱法で作製された大型Zn0結晶を用いた。1.マイクロ引下げ成長法で作製したフッ化物結晶の光学特性評価平成18年度に作製した真空紫外分光器を用いて、Nd:LaBaF、Nd:LaFの真空紫外領域における吸収・発光スペクトルを測定したところ、164nmまでの透過性と、175nm付近の広帯域な発光ピークが測定された。これらの測定から、フッ化物結晶が、真空紫外領域シンチレータ及び、波長可変レーザー材料として有望な光学特性をもつことが明らかになった。2.水熱成長法Zn0大型結晶のEUVシンチレータ特性銀イオンプラズマ軟X線レーザーを励起源(13.9nm)に用い、同領域におけるシンチレーション特性を測定した。その結果、紫外域波長に依存しない高速な発光特性を示すことが明らかとなり、この結果は、次世代リソグラフィ用シンチレータ材料として適した性質を示している。昨年度から2年間の研究を通して、本研究課題の目的であった、真空紫外領域の分光器及び画像計測システムの作製を完了した。さらに、これらの実験装置を用いて、真空紫外領域のシンチレータや波長可変レーザーの実現に向けて、新結晶の光学特性評価を行い、上述のような成果を得た。

In 2019, the new technology of vacuum ultraviolet spectrometer and image measurement system in the same field was used to measure the light emission of various crystal growth methods. The method of hydrothermal method was used to prepare large ZnO crystals (Ce:LiCAF, Nd:LaBaF). 1. Evaluation of optical properties of Nd: LaF and Nd:LaF crystals prepared by the growth method. Measurement of absorption and emission properties in the vacuum ultraviolet field by vacuum ultraviolet spectrometer in 2008. Measurement of transmittance at 164nm and emission properties in the near band at 175nm. The determination of the optical properties of the compound crystal, vacuum ultraviolet field, and wavelength can be changed. 2. Hydrothermal Growth Method EUV Crystal Characteristics of Zn0 Large Crystals Silver Crystal Origin (13.9 nm) The wavelength dependence of the ultraviolet region on the properties of the high-speed light emitting material is shown in this paper. During the past two years, the research has been carried out, and the goal of this research project is to complete the production of spectrometers and imaging systems in the vacuum ultraviolet field. In addition, the application of the new crystal device, the development of the new crystal wavelength in the vacuum ultraviolet field, and the evaluation of the optical characteristics of the new crystal are achieved.

项目成果

Ce^<3+>-doped LiCaAlF_6 crystals as a solid-state ultraviolet saturable absorber and role of excited state absorption

Ce^<3>掺杂LiCaAlF_6晶体作为固态紫外可饱和吸收剂及其激发态吸收的作用

• 发表时间: 2005
• 期刊: Jpn.J.Appl.Phys. 44
• 作者: L.H.Hai;N.D.Hung A.Quema;G.Diwa;H.Murakami;S.Ono;N.Sarukura
• 通讯作者: N.Sarukura

Vacuum ultraviolet optical properties of a micro-pulling-down-method grown Nd^3+:(La_09,Ba_01)F_29

微下拉法生长Nd^3:(La_09,Ba_01)F_29的真空紫外光学性质

• DOI: 10.1364/josab.25.000b27
• 发表时间: 2008
• 期刊: Journal of The Optical Society of America B-optical Physics
• 影响因子: 1.9
• 作者: M. Cadatal;Y. Furukawa;Y. Seo;S. Ono;E. Estacio;H. Murakami;Y. Fujimoto;N. Sarukura;M. Nakatsuka;K. Fukuda;R. Simura;T. Suyama;A. Yoshikawa;F. Saito
• 通讯作者: F. Saito

Nd^<3+>: (La_<1-x>, Ba_x)F_<3-x> grown by micro-pulling down as vacuum ultraviolet scintillator and potential laser material

Nd^<3>：微下拉生长的(La_<1-x>,Ba_x)F_<3-x>作为真空紫外闪烁体和潜在的激光材料

• 发表时间: 2007
• 作者: S.Ono;H.Murakami A.Quema;G.Diwa;N.Sarukura;R.Nagasaka;Y.Ichikawa;H.Ogino;E.Ohshima;A.Yoshikawa;T.Fukuda;Marilou Cadatal;Marilou Cadatal;Marilou Cadatal
• 通讯作者: Marilou Cadatal

Optical properties of micro-pulling down method grown Nd^<3+>: (La_<1-x>, Ba_x)F_<3-x> as potential vacuum ultraviolet laser material and scintillator

微下拉法生长Nd^<3>:(La_<1-x>,Ba_x)F_<3-x>作为潜在真空紫外激光材料和闪烁体的光学特性

• 发表时间: 2008
• 作者: S.Ono;H.Murakami A.Quema;G.Diwa;N.Sarukura;R.Nagasaka;Y.Ichikawa;H.Ogino;E.Ohshima;A.Yoshikawa;T.Fukuda;Marilou Cadatal
• 通讯作者: Marilou Cadatal

Nd3+:(La1-x,Bax)F3-x grown via micro-PD as new vacuum ultraviolet scintillator and potential laser material

Nd3 :(La1-x,Bax)F3-x 通过微 PD 生长作为新型真空紫外闪烁体和潜在的激光材料

• 发表时间: 2007
• 作者: Aya Kitajima;Satoru Asatsuma;Hisao Okada;Yuki Hamada;Kentaro Kaneko;Yohei Nanjo;Yasushi Kawagoe;Kiminori Toyooka;Ken Matsuoka;Masaki Takeuchi;Akihiko Nakano;Toshiaki Mitsui;Marilou Cadatal;Cadatal Marilou;Cadatal Marilou;Marilou Cadatal;Marilou Cadatal
• 通讯作者: Marilou Cadatal